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鋁誘導晶化低溫制備多晶硅薄膜的機理研究
本文根據熱力學第二定律的Gibbs自由能描述,理論研究了AIC制備多晶硅薄膜的ALILE機理,同時結合理論研究和實驗結果理論計算了AIC制備多晶硅薄膜的激活能。
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W含量對CrSiWN薄膜微觀結構、力學及摩擦性能的影響
采用射頻磁控濺射制備不同W含量的CrSiWN薄膜。利用X射線衍射、掃描電鏡、能量散射譜、納米壓痕儀和摩擦磨損實驗機對薄膜的相結構、形貌、成分和摩擦性能進行分析。
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ZnO插層對超薄坡莫合金薄膜各向異性磁電阻的影響
本實驗以ZnO作為Ta(4nm)/Ni81Fe19(20nm)/Ta(3nm)薄膜中Ta層和Ni81Fe19層界面處的納米氧化層,研究氧化層ZnO的插入對坡莫合金薄膜AMR的影響。
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真空蒸鍍鍺摻雜多晶硅薄膜的研究
用掃描電子顯微鏡(KYKY-1000B)和顯微激光拉曼光譜儀(JY Labram HR 800)分析研究了不同摻雜分數的鍺成分對摻鍺多晶硅薄膜的表面形貌、組織結構及薄膜晶化率的影響。
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鋁摻雜及溫度對氧化鋅薄膜發光特性的影響
本文中采用水熱法制備了摻鋁氧化鋅(AZO)納米結構薄膜,使用X射線衍射(XRD)、掃描電鏡(SEM)和變溫光致發光譜技術測試了薄膜的微結構和在低溫下的光致發光特性,并分析了鋁摻雜和溫度變化對氧化鋅光致發光譜的影響。
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不同襯底溫度下生長的Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7.0薄膜的XPS 研究
采用固相反應法合成具有焦綠石立方結構的Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7(BZN) 陶瓷靶材, 采用脈沖激光沉積法在Pt/TiO2/SiO2/Si(100) 基片制備立方BZN 薄膜, 襯底溫度在500~ 700℃范圍內變化。
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化學水浴法制備In2S3薄膜的組織和性能研究
采用化學水浴法在InCl3.4H2O 和CH3CSNH2 的酸性混合溶液體系中制備In2S3薄膜,并研究不同工藝下制備In2S3薄膜的晶相結構、表面形貌及光學性能。
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ICP-CVD制備a-CHON及光學性能分析
采用外置電感耦合等離子體化學氣相沉積法, 以高純CH4/N2/ CO2/H2作為反應氣體, 制備出非晶的a-CHON薄膜。研究了放電功率對薄膜沉積速率、表面形貌及光學性能的影響。
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雙波段3.0~5. 0μm 和7. 0~10. 0μm寬帶增透膜的研究
為了增加紅外窗口的透射率,研制了硫化鋅基底上的雙波段寬帶增透膜。膜系設計采用硫化鋅和氟化釔分別作為高、低折射率材料的多層膜結構。
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多孔Cr-TiO2/P3HT異質結薄膜的制備及光伏特性研究
采用溶膠-凝膠法,利用聚乙二醇2000(PEG 2000),成制備了多孔Cr摻雜TiO2(Cr-TiO2)納米薄膜,并實現了PEG 2000 含量對Cr-TiO2薄膜多孔結構及其光透射特性的有效調制。
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