氣體捕集真空泵
-
集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀
本文介紹了國內(nèi)集成電路制造中進(jìn)口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀,并對(duì)比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)。闡述了國產(chǎn)低溫泵進(jìn)軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。
-
低溫冷凝泵的抽氣特性
本文介紹了低溫冷凝泵的理論抽速、低溫冷凝泵的實(shí)際抽速、低溫冷凝泵的極限壓強(qiáng)、低溫泵的降溫時(shí)間、低溫泵的工作壽命等關(guān)于低溫泵的抽氣特性計(jì)算公式。
-
低溫泵的抽氣原理與分類與結(jié)構(gòu)
利用低溫表面上的吸附劑和打在其上的氣體分子發(fā)生吸附而達(dá)到抽氣作用的泵叫低溫吸附泵。根據(jù)所用吸附劑不同,又可分為三種類型: 非金屬吸附劑泵、金屬吸附劑泵、氣體霜。
-
濺射離子泵的結(jié)構(gòu)及其抽氣機(jī)理
濺射離子泵又稱潘寧泵,它是靠潘寧放電維持抽氣的一種無油清潔超高真空泵。是目前抽惰性氣體較好的真空獲得設(shè)備。濺射離子泵主要由陽極、陰極、磁場和電源四大部分組成。
-
分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)
分子篩吸附泵是利用分子篩在低溫下能大量吸氣、在高溫下又能將吸附的氣體釋放出來的性質(zhì)而設(shè)計(jì)的一種真空泵。分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)類型:按冷卻方式不同,可分為內(nèi)冷式和外冷式。
-
分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)及其抽氣原理
分子篩是一種人工合成的沸石,分子篩對(duì)氣體的吸附是物理吸附,過程是可逆的。低溫下吸附的氣體在溫度回升時(shí)將如數(shù)地釋放出來。
-
鈦泵和濺射離子泵的工作原理
鈦泵是真空泵的一種, 但它不同于普通的壓縮型泵。鈦泵沒有轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu), 也不使用真空泵油,它采用俘獲氣體分子的方式除氣, 能得到清潔的高真空。
-
冷阱的基本結(jié)構(gòu)
冷阱的基本類型屬于中心帶障板的冷阱, 其優(yōu)點(diǎn)是捕油性能好, 既能擋住一次束流, 又能防止油分子的爬移, 在內(nèi)膽和上法蘭之間的薄壁筒, 作為表面油分子的爬移壘。
-
CSNS離子泵性能測(cè)試
本文詳細(xì)介紹了離子泵性能測(cè)試方法。經(jīng)過測(cè)試的離子泵,安裝到加速器上均能正常工作,動(dòng)態(tài)真空滿足設(shè)計(jì)指標(biāo)。
-
低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用實(shí)例
本文以實(shí)例介紹了低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用; 重點(diǎn)介紹了低溫泵真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)思路,真空系統(tǒng)的主要配置和注意事項(xiàng),低溫泵的選型計(jì)算,并用圖示方法詳細(xì)介紹了低溫泵系統(tǒng)的安裝、使用和維護(hù)等環(huán)節(jié)。
-
HL-2M內(nèi)置式低溫泵基于DSMC方法的抽速計(jì)算
HL-2M內(nèi)置式低溫真空泵的復(fù)雜性和重要性要求在設(shè)計(jì)階段就的對(duì)低溫真空泵的抽氣性能進(jìn)行評(píng)估,甚至是定量的計(jì)算。作為一個(gè)復(fù)雜的系統(tǒng),HL-2M內(nèi)部空間留給大型低溫泵的空間是極其有限的;并且從制造和加工的成本考慮,
-
實(shí)驗(yàn)低溫冷板抽氣裝置性能測(cè)試及分析
本文根據(jù)100 MeV 串列加速器升級(jí)工程項(xiàng)目實(shí)際使用的條件和對(duì)抽速的要求,對(duì)實(shí)驗(yàn)低溫冷板抽氣裝置的低溫抽氣性能進(jìn)行了測(cè)試。
真空資訊
推薦閱讀
熱門專題
閱讀排行
- 1冷阱的基本結(jié)構(gòu)
冷阱的基本類型屬于中心帶障板的冷阱, 其優(yōu)點(diǎn)是捕油性能好, 既能
- 2鈦泵和濺射離子泵的工作原理
鈦泵是真空泵的一種, 但它不同于普通的壓縮型泵。鈦泵沒有轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)
- 3低溫泵的工作原理及構(gòu)造示意圖
低溫泵的工作原理是利用氣體在超低溫表面發(fā)生物理吸附而達(dá)到排氣
- 4冷凝捕集器(冷阱)的作用和典型結(jié)構(gòu)
冷阱是利用低溫冷壁來捕集可凝性蒸氣的一種低溫冷凝捕集器,冷阱
- 5分子篩的結(jié)構(gòu)與常見種類
分子篩的結(jié)構(gòu)與常見種類
- 6冷凝泵的內(nèi)部構(gòu)造、工作原理及其維護(hù)保養(yǎng)
分析了冷凝泵的內(nèi)部構(gòu)造、工作原理, 詳細(xì)敘述了工作時(shí)的相位關(guān)系
- 7分子篩的吸附原理及應(yīng)用
分子篩的吸附原理及應(yīng)用
- 8冷凝泵的基本原理與制冷過程
G-M循環(huán)冷凍機(jī)的降溫過程是吸收外部熱量下降自身溫度的過程,從能
- 9低溫泵的常見的幾種再生方式
- 10濺射離子泵的結(jié)構(gòu)及其抽氣機(jī)理
濺射離子泵又稱潘寧泵,它是靠潘寧放電維持抽氣的一種無油清潔超