低溫泵測試系統的搭建
低溫泵的測試系統原理圖如圖1所示:系統包括低溫泵、干泵、測試容器、真空規、氣體流量計和閥門等。
皮拉尼規、BA規和氣體流量計由北京航天計量測試技術研究所計量,硅二極管、PT100以及低溫儀表由中國科學院理化技術研究所低溫計量中心計量。
低溫泵的二級冷板和障板上安裝了4個硅二極管測溫傳感器,低溫泵的防輻射屏上安裝了3個PT100測溫傳感器,為了簡化圖表的顯示,二級冷板的溫度或者防輻射屏和障板的溫度均為這些傳感器測試值的平均值。
測試系統的結構和尺寸嚴格按照行業標準JB/T11081-2011中流量法測試低溫泵性能參數的要求進行搭建,具體對低溫泵的抽速、渡越容量及降溫時間的測試流程也按照標準的要求進行。
圖1 低溫泵測試系統