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氣體捕集真空泵

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推薦集成電路制造中低溫泵的應用及產品發展現狀

本文介紹了國內集成電路制造中進口低溫泵產品的技術發展現狀，并對比了不同產品的技術特點。闡述了國產低溫泵進軍集成電路制造業的歷程與現狀。

分子篩的吸附原理及應用

分子篩的吸附原理及應用
分子篩的結構與常見種類

分子篩的結構與常見種類
EAST裝置的內置式低溫冷凝泵系統

介紹了內置式低溫泵系統的基本設計、制造和性能測試
低溫泵抽氣性能測試平臺的抽速測量不確定度研究

介紹了低溫泵抽氣性能測試平臺的組成和抽速測量的基本原理,分析了壓力和充氣量的不確定度分量來源
G-M低溫泵系統的故障診斷與分析

低溫泵系統的故障主要有: 壓縮機故障、低溫泵故障和再生故障。壓縮機故障又分為潤滑油泄漏、氦氣泄漏、不能啟動和噪音。低溫泵故障又分為低溫泵不能冷卻、低溫泵噪音。
制冷機冷卻型超導磁體杜瓦的研制

介紹了帶制冷機冷卻的超導磁體系統杜瓦的設計、制作及實驗結果分析。
G-M制冷機冷卻的超導磁體研制及性能試驗

針對超導磁體液氦易揮發、需要不斷補充的問題,為研制的超導磁體加裝了G-M制冷機.
冷凝泵的內部構造、工作原理及其維護保養

分析了冷凝泵的內部構造、工作原理, 詳細敘述了工作時的相位關系。
鈦升華泵在提高同步輻射環真空度上的作用

鈦升華泵能有效提高同步輻射裝置在高能量、大流強運行時的真空度，從而改善束流壽命，提高供光效率。
中性束系統大抽速低溫泵的參數和計算

對中性束的主要氣源進行了說明，低溫泵的抽速，熱負荷以及極限壓力進行了初步的計算。
中性束系統大抽速低溫泵的基本結構

中性束系統大抽速低溫泵的主體基本結構，即：以頂部主法蘭為固定支撐，4.5K雙面活性炭涂層的低溫冷面結合77K的經黑化處理過的V字型折流板為主體部件的液氦和液氮雙回路系統。
中性束系統大抽速低溫泵的工作原理

闡述了用于中性束束線的大抽速低溫泵的工作原理。
液氮溫度下JX-6型椰殼炭的性能測試

本文選取JX-6型椰殼活性炭，用全自動比表面積及孔徑分析儀在液氮溫度下對其性能進行了測試，并對實驗數據進行了分析。
非蒸散型吸氣劑在微型離子泵中的應用

為確保小尺寸超高真空密封器件的高可靠和長壽命，開發了一種帶非蒸散型吸氣劑的微型復合離子泵，并研究了非蒸散型吸氣劑對器件存儲和微型離子泵啟動特性的影響。
幾種組合吸附劑的吸氫等溫線的測定及分析

測定了幾種組合吸附劑在低壓室溫下的吸氫等溫線,該組合吸附劑是由5A分子篩和含有不同比例PdO和Ag2O的吸氣劑組成的。本文對這些吸氫等溫線進行了分析,擬合出在一定范圍內適用的吸氫等溫方程式。
用制冷機低溫泵獲得清潔無油高真空

制冷機低溫泵以其抽速大和無污染的特點，在各行各業得到了廣泛的應用。文章介紹了制冷機低溫泵的工作原理、結構和特點，著重介紹了自主設計生產的制冷機低溫泵在國內最大的空間環境模擬設備中調試和測量的情況，為獲
蒙特卡洛法計算鈦升華泵抽氣速率的結果與討論

用蒙特卡洛法計算了HIRFL-CSR 鈦升華泵對于不同氣體吸附系數在分子流條件下的吸附概率,分析了擋板的形狀和設置位置對吸附概率的影響,并得到了對H2抽速的計算與實驗數據相接近的結果。
HIRFL-CSR鈦升華泵的設計

鈦升華泵與其他無油泵相比,在相同抽氣口徑下具有抽速大、極限真空高(與離子泵配合) 、使用壽命長、結構簡單、操作方便、價格便宜等優點。作者自行研制了適用于超高真空系統的HIRFL-CSR 鈦升華泵。
鈦泵的結構與抽氣機理及維護

介紹加速中的鈦濺射離子泵的工作原理、結構原理和基本維護方法。
用鈦升華泵提高BEPCII同步輻射環真空度

BEPCII同步輻射要求儲存環真空室在束流運行時具有較高的真空度，而在供光初期由于束流清掃不夠，往往難以達到足夠高的真空度，因而束流壽命較低。通過激活同步輻射儲存環上的鈦升華泵可以明顯提高真空度，從而改善束