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氣體捕集真空泵

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推薦集成電路制造中低溫泵的應用及產品發展現狀

本文介紹了國內集成電路制造中進口低溫泵產品的技術發展現狀，并對比了不同產品的技術特點。闡述了國產低溫泵進軍集成電路制造業的歷程與現狀。

高速電動渦輪-壓氣機的性能測試結果分析

高速電動渦輪－壓氣機組件性能試驗的結果，一方面證明將高速電機引入傳統渦輪－壓氣機組件而形成的結構方案具有較好的運行穩定性和可行性，另一方面也說明高速電機的驅動作用可提高空氣循環機轉子的旋轉速度，增大渦
高速電動渦輪-壓氣機組件性能測試

高速電動渦輪－壓氣機組件具有結構緊湊、能量輸出能力強等優點，可以根據需要方便地提供制冷空氣。由該組件構成的空氣循環制冷系統可提高環境控制系統的可控性和節能效果，豐富空氣循環制冷的應用領域，是一種很有前
高速電動渦輪-壓氣機組件試驗方法

介紹了一種高速電機驅動的新型渦輪－壓氣機組件的工作原理和設計方法，并對組件進行了性能試驗。
微型離子泵抽速測試結果及誤差分析

用高純氮氣為抽速測試氣體,離子泵對N2 抽速≥013 L/ s。根據二極型濺射離子泵對不同氣體抽速的經驗比值可知,濺射離子泵對N2 抽速為對干燥空氣抽速的85%。
動態流導法測濺射離子泵抽速原理與步驟

參考機械行業標準JB/T2965,探討了微型濺射離子泵性能測試實驗方法,改建了實驗系統,測量了微型濺射離子泵各項性能指標。
微型濺射離子泵測試系統及測試方法

參考國內外濺射離子泵的測試方法和行業標準,提出了微型濺射離子泵性能的測試方法,并利用現有實驗設備設計了測系統,實際測試了微型濺射離子泵的各項性能指標。
大型氦制冷低溫真空系統的其它一些參數設計

介紹了我國某大型空間環境試驗設備中的大型氦制冷低溫真空系統的設計研究工作, 對設計研究中的一些技術問題進行了研究探討。
氦制冷低溫真空系統的抽速和熱負荷的最佳化設計

影響大型氦制冷低溫真空系統抽速和熱負荷的主要結構參數相互制約, 需要通過蒙特卡洛方法進行最佳化設計。
大型氦制冷低溫真空系統主要結構設計

大型氦制冷低溫真空系統的主要技術性能基本上可以由系統抽速、系統降溫時間和抽氣面積三項指標來表達。氦制冷系統的制冷功率對大型氦制冷低溫真空系統的主要技術性能的影響也是很大的。
冷凝泵的常規維護保養

冷凝泵的常規維護保養知識
冷凝泵的基本原理與制冷過程

G-M循環冷凍機的降溫過程是吸收外部熱量下降自身溫度的過程,從能量守恒的角度來分析,正好與活塞對外做的功相等。這就是制冷的基本原理。
冷凝泵的內部構造特點

冷凝泵的內部件主要包括導流板、輻射罩、冷板、溫度計、一級冷頭、二級冷頭、冷凍機、活塞連桿、蓄冷器等等。
低溫泵再生起始和結束的判斷方法

討論了再生過程中再生起點和再生終點的判斷方法以及低溫泵冷頭溫度的測量方法。
制冷機低溫泵的常見再生方式

低溫泵捕集的氣體可以以固態、氣態或液態方式除去, 由于以固態方式除去冷凝物存在很多技術難題,根據加熱方式的不同, 再生方式一般分為:自然加熱再生、氣體沖洗再生、電加熱再生三類。
在線處理分子篩純化系統閥門故障

介紹分子篩純化系統可以在線處理的閥門故障和處理措施, 結合再生氣出口閥不停車更換的實際操作, 總結不停車處理閥門故障的操作經驗。
濺射離子泵泵體發燙故障原因分析

濺射離子泵泵體發燙故障的發生通常是由于泵內壓強過高或者油氣進入。
濺射離子泵抽速或真空度下降的故障分析

濺射離子泵抽速或真空度下降可能因為離子泵漏氣、離子泵吸氣劑飽和、離子泵泵體重裝后處理不當等原因造成的。
冷阱的啟動壓強和冷卻冷阱需要的液氮量

冷阱通液氮越早, 液氮消耗量越大, 通液氮越晚, 擋油效果越差。冷阱正常工作前, 必須由300 K 降到80 K 左右, 此間冷卻內膽和障板要消耗液氮。這就需要通過對內膽和障板傳熱計算液氮量。
冷阱的主要參數設計計算

講敘了冷阱的主要參數計算，冷阱流導、液氮膽與外殼的設計、冷阱熱負荷的計算、障板的設計等等。
低溫泵故障對低溫泵抽氣性能的影響

氦氣的壓力不足時會影響低溫泵的制冷效率，低溫泵的噪音只出現在低溫泵處于低溫時。此時極有可能是低溫泵的氦氣受到污染, 需要進行除污染程序。