如果濺射離子泵在啟動后出現泵體過熱的情況要立刻停止工作, 進行檢修。此類故障的發生通常是由于濺射離子泵泵內壓強過高或者油氣進入。

 放氣

      飽和的吸氣劑在一定的條件下會重新釋放出氣體, 氣體密度的增加會使空間內離子碰撞的幾率增加, 放電加劇, 形成雪崩效應, 產生輝光放電甚至弧光放電, 最終燒毀極板。如圖4 陰極板被擊穿。

      有資料說, 濺射離子泵短時間暴露于大氣不會造成損壞, 但是還是要盡量避免。

油污染

      油進入濺射離子泵泵體內部首先的危害是污染真空系統。大量油的進入還會損壞真空泵。油污染的來源有兩個, 一個來自前級機械泵, 另一個是在拆泵重裝時進入的。嚴重的油污染會縮短泵的使用壽命, 甚至使泵報廢。

     此類故障需要采取預防措施。首先對前級泵的濾油網要定期檢修。其次在拆泵重裝時, 要保證在清潔的環境下進行, 并帶干凈的手套, 嚴禁徒手觸摸泵內部的元件。

進氣

     大量進氣導致放電加劇, 陰陽極板受轟擊發熱。濺射離子泵泵體嚴重漏氣會導致此類故障發生。