干泵及其在大半導體領域的應用

中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

張振厚

　　摘要：大半導體產業作為我國鼓勵、支持發展的新興產業近幾年得到了快速發展。

　　本文介紹了國內外干泵產業的發展及其主要生產廠家、干泵的發展趨勢。從大半導體產業概念入手，通過對大半導體產業發展趨勢以及真空應用設備的需求分析，介紹了干泵在大半導體產業領域的應用，并對干泵的技術發展提出了個人建議。

　　目前干泵基本上還需要使用知名的進口品牌，否則會惹麻煩的!一般都用 ebara 或 edward 吧

　　我們真心希望能夠大量使用國貨，但半導體及相關制造業對保證設備運行的可靠性方面要求極高。所用過的機械泵，從噪聲方面說，萊寶的泵使用10年后噪聲依然如新泵。而國產的泵即使是新的，噪聲就較高(我曾經用過一家國內生產的干泵，那噪聲和裝甲車差不多)。據說主要的原因是他們校正轉軸的要求特別高。國產的泵另一個特點是：一經鑒定成型后，較少再投入進行設備的優化和改進性能。一個新產品出來總有這樣那樣的缺點，這點上大家都可以理解，但不能理解的是為什么沒有再改進再優化的過程了。一點淺見：主要是人們不怎么相信國產設備的可靠性。