渦輪式干泵是近年來迅速普及的一種新型干泵，由于其性能優越，在真空領域特別是科研用真空設備方面，正在迅速取代傳統的油封式旋片泵。其主要優點如下：

　　(1)具有較高的壓縮比，在較寬的壓強范圍內有穩定的抽速；

　　(2)結構簡單，可靠性高；

　　(3)工作壓強范圍寬，功率變化小。

　　渦輪式干泵的基本原理如圖1所示，氣體在由渦旋轉子和渦旋定子組成的月牙壓縮腔內被壓縮，渦旋定子固定在機架周邊上，在渦旋定子的周邊上開有吸氣口，在渦旋轉子和渦旋定子渦旋體中心部開有排氣口。渦旋定子和渦旋轉子的渦線基本相同，兩者相位錯開180°，結果在兩個渦旋體之間形成了一系列月牙壓縮腔。渦旋轉子轉動時，月牙壓縮腔一面向中心移動，其容積一面連續地變小，完成渦輪式干泵的吸氣、壓縮和排氣過程。

圖1　渦輪式干泵的原理和排氣過程示意圖

1—渦旋轉子；2—渦旋定子