• 節能50%以上

　　• 結構緊湊、高抽速

　　• 清潔制成的理想選擇

　　2013年1月23日 德國 阿斯拉(Asslar)- A 100 L緊湊型干泵是專為半導體領域生產設備靈活集成的要求而量身定制開發的一款產品。這款干多級羅茨泵是加載互鎖真空室(load-lock chambers)、晶片傳送室(transfer chambers )和其他無腐蝕應用(noncorrosive applications)的清潔制成環境中的理想選擇。

　　盡管這款干泵結構緊湊體積小巧，但她依然能夠帶來強大的抽速和高速響應的停機時間。現今，A 100 L干泵已經廣泛應用于全球領先的半導體工廠，并且非常適用于無塵室工作室。

　　在A 100 L基礎上研發的新款A 100 L ES(ES=Energy Saving)系列經過測試能夠節能50%以上，在低壓范圍內其抽速表現依舊強大。并且比A 100 L具有更低的極限壓力和噪音。

　　一個典型的案例：300毫米制成的半導體工廠在加載互鎖真空室(loadlock)裝備1300臺泵，一年能夠節約10GWh以上的能源，相當于大約36萬歐元，5.1噸的二氧化碳排放。

　　此外為了節約能耗，A 100 L ES的極限壓力降低到了7x10^-4 mbar(hPa)。這開創了在要求低壓環境下提高抽氣速度新的潛在應用。同時泵的噪音從58 dB (A)下降到了55 dB (A)。A 100 L ES無疑填補了我們在light duty process中產品節能的要求，就好比我們在medium duty process中A3P系列和harsh duty process中A3H系列一樣都能提供完美的節能產品。

About Pfeiffer Vacuum

　　Pfeiffer Vacuum-作為全球領先的真空技術解決方案的供應商之一。我們不僅擁有全系列的混合軸承及全磁懸浮渦輪分子泵，同時還擁有各種旋片泵，干泵，羅茨泵，氦氣質譜檢漏儀，真空規，四級質譜儀等產品以及真空管件和綜合真空系統。從普發1958年發明渦輪分子泵至今，我們在全球分析、研發、鍍膜、太陽能、半導體和其他工業領域，始終代表著創新的解決方案、高品質、穩定可靠的產品和一流的服務。公司自1890年創立至今百余年，現有將近2300名員工，20多家分公司遍布全球，并且在德國、法國、羅馬尼亞、韓國設有生產制造基地。

　　更多信息，請點擊www.pfeiffer-vacuum.com