10月14日，中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司(以下簡稱“中科儀”)發布公告稱，中科儀與國家集成電路產業投資基金股份有限公司(以下簡稱“大基金”)、宿遷渾璞五期集成電路產業基金(有限合伙)(以下簡稱“渾璞投資”)和國科科儀控股有限公司(以下簡稱“國科科儀”)達成戰略投資意向，擬于近期簽訂戰略投資協議。

　　根據協議，大基金、渾璞投資和國科科儀就中科儀真空干泵產業化升級等戰略投資事宜達成意向，投資金額分別為不超過人民幣1.4億元、7000萬元、5000萬元，投資方式包括但不限于受讓老股、認購新股等。

　　中科儀是一家專業從事真空儀器裝備、真空獲得設備研制生產并服務于集成電路產業及科研領域的企業。公告表示，中科儀獲得國家重大專項支持的真空干泵已經在中芯國際、長江存儲、華力微電、北方華創等國內知名集成電路生產制造企業及集成電路裝備制造企業產業化推廣，打破了一直以來由國外廠家壟斷的局面，目前，該公司是國內唯一一家在集成電路領域替代進口的真空干泵生產制造企業。

　　在集成電路生產線種類眾多的整機裝備中，70%左右都需要在真空的工藝環境生產組裝。真空干泵及真空閥門是關鍵的潔凈真空子系統，其作用是獲得、維持與控制集成電路裝備整機潔凈真空運行環境，在生產線中應用最為普遍，市場需求巨大。

　　中科儀研發團隊先后攻克了集成電路制造工藝與潔凈真空獲得系統優化組合、全新理論型線設計與多種轉子形式組合、全新密封結構和振動/噪聲抑制方法、表面防腐技術、獨特的控制/反饋軟件與通用控制接口結合、閥門密封技術以及獨特的電機與驅動系統設計等關鍵技術。

　　此外，作為國內干泵的領軍企業，中科儀承擔了國家發改委振興東北老工業基地高新技術產業化示范工程專項——IC裝備超潔凈真空的研制并開展了系統項目的實施工作，組織承擔并完成了國家“十五”IC裝備重大專項子課題——IC生產線用羅茨干泵項目。

　　今年8月，中科儀發布股票發行預案，擬非公開定向發行股票，預計募集資金不超過3億元，要用于補充流動資金、新一代高效節能真空干泵研發、建立干泵產業化基地、技術服務和維修中心建設。

　　中科儀未在公告中提及此次即將簽訂的戰略投資協議是否與上述募資事項有關，其表示本協議對公司的業務獨立性不構成影響，公司主要業務不存在因履行本協議而對合作方形成依賴的可能性。

　　但無論如何，大基金、渾璞投資等戰略投資者的關注及加入，將有望助力中科儀真空干泵進一步產業化，加速國產真空干泵發展升級。