低溫泵真空抽氣系統(tǒng)故障的最基本現(xiàn)象是真空系統(tǒng)中的壓力升高。引起系統(tǒng)壓力升高的原因：一是真空系統(tǒng)的漏氣；二是低溫泵的工作出現(xiàn)故障。

　　真空系統(tǒng)的漏氣可以用氦質(zhì)譜檢漏儀分別對(duì)真空容器和低溫泵本身進(jìn)行檢漏，若發(fā)現(xiàn)不漏氣，則必須按以下情況逐一排除低溫泵的故障。

一、真空容器中壓力升高（二級(jí)冷陣的溫度低于20K）

　　可能原因?yàn)椋?/p>

　　1、真空系統(tǒng)或低溫泵本身有漏氣，可以通過a.進(jìn)行真空系統(tǒng)檢漏；b.檢查安全減壓閥是否復(fù)位；c.對(duì)低溫泵機(jī)械檢漏來排除。

　　2、被抽容器中存在著He、Ne、H₂ 等不可凝氣體（因吸附板飽和），可以對(duì)泵進(jìn)行再生處理來解決此故障。

　　3、固定二級(jí)冷陣的螺釘松動(dòng)，使吸附抽氣表面溫度高于20 K（一般情況下，此種可能性較小），處理此類故障可以將泵恢復(fù)到常溫后，檢查一、二級(jí)冷陣裝配情況。

二、真空容器中壓力升高（低溫表面的溫度低于20K）

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　　1、二級(jí)冷陣的吸附器已吸附飽和，此時(shí)需要對(duì)泵進(jìn)行再生。

　　2、抽氣負(fù)載過高，可以通過利用屏蔽或降低輻射表面溫度來解決此類故障。

三、低溫泵二級(jí)冷陣的溫度達(dá)不到20K，或需很長時(shí)間才能達(dá)到20K。

　　此類故障的原因一般為：

　　1、制冷機(jī)制冷能力變差，解決這類故障的方法a.檢查壓縮機(jī)供氣壓力是否正常，如壓力低機(jī)械補(bǔ)氣；b.對(duì)泵進(jìn)行再生處理；c.蓄冷器被污染，或一、二級(jí)密封環(huán)磨損。

　　2、壓縮機(jī)氣壓低，這時(shí)就需要對(duì)其補(bǔ)氣。

　　3、真空系統(tǒng)或低溫泵本身有漏氣，此時(shí)需要a.真空系統(tǒng)進(jìn)行檢漏；b.泵檢漏、安全閥是否復(fù)位。

　　4、低溫泵內(nèi)部存在較多的He、Ne、H2 等不可凝氣體（分壓較高），這時(shí)用干燥N2 氣沖洗或再生即可。

　　5、壓縮機(jī)工作不正常，這時(shí)需要檢修壓縮機(jī)。

四、低溫泵發(fā)出隆隆響聲，這時(shí)一般都是50Hz/60Hz 開關(guān)位置錯(cuò)，只要置開關(guān)于正確位置即可解決此類故障。