介紹了一種應用于環模裝置的DN900LN₂型低溫泵的研制情況，該低溫泵是利用循環液氮配合GM 低溫制冷機共同提供冷量來進行低溫冷凝和低溫吸附達到抽真空目的，其口徑為900 mm，對N₂抽速大于30 000 L/s。文中詳細論述了其結構及工作原理、吸附陣和液氮冷屏的具體設計及計算、熱負荷計算等，并給出了性能測試方法及測試結果。該文的研究為大口徑低溫泵的研制提供了設計思路和計算方法參考。

1、引言

　　低溫泵是一種利用低溫冷凝和低溫吸附原理抽除氣體而獲得高真空的容積式真空泵，是獲得潔凈、無油的高真空環境的重要設備。低溫泵廣泛應用于半導體、集成電路、鍍膜和空間環境模擬等需要真空的設備上。

　　DN900LN₂型低溫泵是針對某環模裝置的需求而設計開發的，設計指標要求:

　　(1) 泵口直徑：Φ900 mm；

　　(2) 抽速： N₂>3. 0×10⁴ L /s; H2>2. 0×10⁴ L /s；

　　(3) 極限壓力： Pj<1×10^-6 Pa；

　　(4) 制冷時間：由室溫冷至20 K 的時間小于240 min；

2、結構及原理

　　DN900LN₂型低溫泵是采用低溫制冷機和液氮(LN₂)同時提供冷量來進行低溫冷凝和低溫吸附氣體從而獲得真空的。由于大口徑低溫泵的抽速和抽氣容量等都比較大，對冷量的需求也就比較大，而現有的低溫制冷機的冷量有限，單臺制冷機難以滿足低溫泵的需求，要使用多臺制冷機才能滿足冷量需求，制造成本較高，為此，本設計采用循環液氮輔助單臺GM制冷機作為冷源，循環液氮為77K冷屏和障板提供冷量，GM制冷機為20K低溫冷凝板提供冷量。結構及原理如下圖1 所示。

圖1 低溫泵結構及原理圖

　　通過連續注入的液氮來冷卻冷屏和障板，其溫度為77 ～ 90 K，液氮與冷屏及障板進行熱交換后變成氮氣或氮的氣液混合物而排出低溫泵體，同時由G-M 循環低溫制冷機的二級冷頭來為吸附陣和冷凝板提供冷量，其溫度<20 K。低溫泵工作時，真空室內的可凝性氣體則被冷屏、障板和冷凝板冷凝下來，難以凝結的氣體則被吸附陣吸收，從而就達到了所需的真空。

圖5 低溫泵實物圖

4、冷量選擇

　　4.1、LN₂ 流量

　　前面計算冷屏與障板的熱負荷為248.07 W，該部分熱負荷需要消耗液氮的冷量，按1∶44 計算可得需要液氮流量為6 L/h 即可滿足該部分熱負荷對冷量的需求，考慮到泵殼內零部件的冷量損耗和縮短降溫時間，可以選擇10 L/h。

　　4.2、制冷機冷量

　　前面計算的低溫冷凝板的熱負荷是由制冷機的二級冷頭來承擔的，則需要制冷機的二級冷量不低于5.62 W。根據冷凝板熱負荷，考慮到制冷工作時的溫度一般在15K以下，所配制冷機冷量要有富余，最終設計選擇萬瑞公司生產的GM210制冷機，其二級冷量在20 K 時>10 W，冷量足夠。

5、性能測試結果

　　制作了標準的測試真空罩，對低溫泵的抽速、抽氣容量、極限真空度和降溫時間等進行了測試。其中按定壓法進行抽速測試，在測試過程中，測試罩內的壓力保持不變。抽速按公式S =Q/P 計算，式中Q 為氣體流量，P 為測試罩內的平衡壓力。低溫泵的抽速按在10^-3 Pa、10^-4 Pa 壓強下的平均抽速計算。

表1 DN900LN₂低溫泵性能測試結果

6、結論

　　DN900LN₂型低溫泵利用循環液氮和低溫制冷機作冷源，具有抽速高、抽氣容量大、潔凈無油，主要是為某環境模擬裝置配套的抽真空設備，也可以應用于半導體、真空鍍膜等行業的大型設備上作為獲得潔凈、無油的高真空設備。該低溫泵經過測試，各項性能指標完全達到設計指標要求，已在某環境模擬設備上運行超過兩年，指標正常，性能穩定。該型低溫泵比常規制冷機低溫泵增加了循環液氮，結構復雜，它的研制成功，創新了一些新的結構、工藝，為同類型、大口徑的低溫泵奠定了堅實的基礎，已獲得省新產品獎。