低溫泵故障分析及解決措施探討

可靠性與環境工程技術重點實驗室 北京衛星環境工程研究所 許忠旭 劉志強

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　　摘要：制冷機低溫泵是目前環模設備使用最多的真空獲得設備，也幾乎是大型環模設備獲得清潔高真空環境的唯一選擇。低溫泵使用方便，可靠性高，故障率低。

　　筆者在單位工作過程中先后使用過美國CTI、CVI、奧斯汀、德國萊寶等多個廠家的低溫泵，對于低溫泵使用過程中發生的故障在判斷、定位、解決方法等方面積累了一定的經驗。

　　本文將重點對低溫泵的典型故障進行分析，并提出部分解決方法。

　　關鍵詞：低溫泵 環模設備 故障 解決方法