制冷機低溫泵的維護可分為定期維護和日常運行維護兩類。

定期維護

　　對于制冷機低溫泵而言，所需要定期維護的就是在10000 h 運行后更換壓縮機吸附器。但對各類不同的低溫泵所要求的定期維護期也不同。我們知道，由壓縮機排出的高壓氦氣流，實際上是油氣混合物，它經過熱交換器和分油器后，使油氣分開，但是進入吸附器的氦氣流仍然含有油分子和油的裂解物。當吸附器對油分子和油的裂解物吸附速率等于或小于壓縮機排氣流所含的油分子或油的裂解物時，吸附器就必須更換。

日常運行維護

補氣

　　正常運轉的低溫泵通常很少需要補氣，如果制冷系統的補氣頻率很高時，就必須嚴格檢查系統有否有漏氣。因為通過反復補氣會導致制冷系統的污染，從而導致低溫泵無法工作。

冷捕集的應用

　　在制冷機低溫泵的長期運行中，由于前述的種種原因使制冷機的工作氣體受到污染，當污染較嚴重時，表現在制冷機制冷系統驅動機構的運動遲緩或間斷運轉。當污染嚴重時，制冷單元的驅動機構會卡住，并且不能運動。

　　冷捕集的方法是將制冷機低溫泵制冷到最低溫度后，運行1～2 h，讓氦氣流中的各種雜質氣體在各級冷頭凍結，時間愈長，效果愈好。然后關掉低溫泵總電源，立即拆除制冷機的排氣管道與進氣管道。讓低溫泵一二級冷陣回溫，達到室溫后方再用高壓氦氣充洗，或用泵抽空這兩種方法排出被凍結下來的雜質氣體。

低溫吸附器的更換

　　制冷機低溫泵在長期工作過程中，不斷受到被抽容器中的灰塵、雜質、腐蝕性物質及油蒸汽等的污染，時間愈長，污染愈嚴重，當低溫泵吸附器的吸附劑被嚴重污染時，它對He、Ne、H2 等非凝性氣體的抽氣能力下降，甚至無法工作，此時就必須更換二級冷陣的吸附器。