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氦質譜檢漏儀工作原理與結構和性能試驗方法
本文講敘了單級磁偏轉型氦質譜檢漏儀、雙級串聯磁偏轉型氦質譜檢漏儀以及逆流氦質譜檢漏儀的工作原理。靈敏度、反應時間、清除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜檢漏儀的主要性能指標。
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如何有效的降低真空系統漏氣率的措施
在真空系統的設計中,提高系統的密封性,降低系統的漏氣率是我們一直追求的目標,經過對真空室內部結構、密封形式、密封件材質、靜密封結構等方面的精心選擇與設計,提高了真空系統的密封性能,加快了抽氣速度,縮短
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利用靜態膨脹法真空裝置和質譜計校準標準漏孔
本文介紹了利用靜態膨脹法真空裝置和殘余氣體四極質譜計校準標準漏孔的方法,通過實驗驗證了該方法的可行性,并給出了該裝置測量范圍(10-5~10-7)Pa.m3/s,裝置的最佳校準能力小于3.0%(k=2)。
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各種充壓檢漏法和最小可檢漏率
真空檢漏就是用適當的方法,迅速判斷漏氣、確定漏率是否在容許的范圍之內,找出漏孔的位置、測定漏率大小,以便進行修補下面就充壓檢漏法的條件、現象、所用設備及其靈敏度進行了介紹。
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鹵素檢漏儀的工作原理和性能測試方法
用含有鹵素(氟、氯、溴、碘)的氣體為示漏氣體的檢漏儀器稱為鹵素檢漏儀,鹵素檢漏儀主要有固定式鹵素檢漏儀和便攜式鹵素檢漏儀。本文介紹了鹵素檢漏儀的工作原理與結構及性能測試方法。
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漏孔、漏率及其表征單位和氣流特性
真空技術中所指的漏孔,由于尺寸微小、形狀復雜、形式多樣,無法用幾何尺寸表示其大小。所以一般用等效流導或漏氣速率表示漏孔的大小。系統的最大容許漏率要滿足要求才能正常使用。
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