各種充壓檢漏法和最小可檢漏率

2008-09-24 真空技術網 真空技術培訓講座

檢漏方法 工作條件 現 象 設 備 最小可檢漏率(Pam3／s) 備 注
水壓法   漏水 人眼 10-3～100-4  
壓降法 充3×105Pa空氣 壓力下降 壓力計 1×10-3  
聽音法 同上 咝咝聲 人耳 5×lO-3 可用聽診囂
超聲法 同上 超聲波 超聲波檢測器 1×10-3  
氣泡法 同上 水中氣泡 人眼 10-5～10-6  
同上 水中氣泡 人眼 10-9 24h積累
同上 涂沫肥皂液發生皂泡 人眼 1×10-5  
氮氣檢漏法 充3×105Pa氨氣 溴代麝香草酚蘭試帶變色 人眼 10-7 觀測20s
同上 溴酚蘭試紙變色 人眼 10-11 24h積累
充2.5×105Pa氨氣 復合涂料顯色 人眼 10-8 1.5小時積累
鹵素檢漏儀吸嘴法 充鹵素氣體 檢漏儀讀數變化伴有音響 鹵素檢漏儀 10-6～10-10 可與空氣混合充入
放射性同位素氣體法 充放射性氣體 計數器信號變化 閃爍計數器 1×10-7  
氦質譜檢漏儀吸嘴法 充氦氣 檢漏儀讀數變化伴有音響 氦質譜檢涌儀 10-8～10-10  
氣敏半導體檢漏儀法 充氣敏氣體 檢漏儀讀數變化 氣敏半導體檢漏儀