真空檢漏法的檢漏方法介紹
2008-09-24 真空技術網 真空技術培訓講座
| 檢漏方法 | 工作壓力[Pa] | 現 象 | 設 備 | 最小可檢漏率[Pam3／s] | |
| 靜態升壓法 | 抽真空后封閉，壓力上升 | 真空計 | 10-5～10-6 | ||
| 放電管法 | 放電顏色改變 | 放電管 | 10-3～10-4 | ||
| 高頻火花檢漏器法 | 103～10-1 | 亮點，放電顏色改變 | 高頻火花檢漏器 | 10-3～10-4 | |
| 真 空 計 法 |
熱傳導真空計法 | 103～10-1 | 施用示漏物質真空 計讀數變化 |
熱偶或電阻真空計 | 10-6 |
| 電離真空計法 | 10-2～10-6 | 電離真空計 | 10-9 | ||
| 差動熱傳導真空計法 | 103～10-1 | 熱傳導真空計差動組合 | 10-7 | ||
| 差動電離真空計法 | 10-2～10-6 | 電離真空計差動組合 | 10-10 | ||
| 有吸附阱的熱傳導真空計法 | 103～10-3 | 液氮冷卻活性炭阱， 熱傳導計 |
10-7 | ||
| 有吸附阱的電離真空計法 | 10-2～10-6 | 液氮冷卻硅膠阱， 冷陰極電離計 |
10-11～10-13 | ||
| 氫鈀法 | 7×101～10-5 | 氫氣通過鈀管進入 真空規，讀數變化 |
鈀管，電離計 | 10-7～10-11 | |
| 離子泵檢漏法 | 10-5～10-7 | 示漏物質使離子流變化 | 離子泵 | 10-9～10-12 | |
| 鹵素檢漏儀內探頭法 | 10～10-1 | 輸出儀表讀數變化 | 鹵素檢漏儀 | 10-7～10-9 | |
| 氯質譜檢漏儀法 | 10-2 | 輸出儀表讀數及 聲響頻率變化 |
氦質譜檢漏儀 | 10-12～10-14 | |
| 質 譜 計 法 |
射頻質譜計法 | 10-2～10-4 | 施用示漏物質輸出 儀表讀數變化 |
射頻質譜計 | 10-6～10-11 |
| 回旋質譜計法 | 10-3～10-7 | 回旋質譜計 | 10-7～10-12 | ||
| 四極濾質器 | 10-1～10-4 | 四極濾質器 | 10-10～10-11 | ||
