常用的標(biāo)準(zhǔn)漏孔的兩種校準(zhǔn)方法

2008-09-24 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)培訓(xùn)講座

標(biāo)準(zhǔn)漏孔的常用校準(zhǔn)方法有定容升壓法和氦質(zhì)譜檢漏儀比較法。

（1）定容升壓法

定容升壓法校準(zhǔn)系統(tǒng)示意圖如圖12所示。

圖12：定容升壓法校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔系統(tǒng)示意圖

經(jīng)預(yù)抽并烘烤容積V后，標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)氣端壓力p₁＜1.33×10³Pa，而V達(dá)到極限真空。當(dāng)壓力為1.01×10⁵Pa的校準(zhǔn)氣體（例如N₂氣）經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)漏孔流進(jìn)容積V，并在V中壓力p₂穩(wěn)定后，關(guān)閉閥門S₂記錄時(shí)間和環(huán)境溫度T，測(cè)出對(duì)應(yīng)Δt時(shí)間的升壓Δp₂則標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率為式（10）。

（2）氦質(zhì)譜檢漏儀的比較法

氦質(zhì)譜檢漏儀比較法校準(zhǔn)系統(tǒng)如圖13所示。

圖13：氦質(zhì)譜檢漏儀的比較法校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔示意圖

在檢漏儀工作條件不變的前提下，先后測(cè)出已知漏孔L₁和待校漏孔L₂的進(jìn)氣氦壓和訊號(hào)，則待校標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率為式（11）。式中，q_L，01-已知標(biāo)準(zhǔn)漏孔L₁的漏率；p₁，p₂-分別為L(zhǎng)₁、L₂漏孔進(jìn)氣端氦壓；I₁，I₂-分別為L(zhǎng)₁，L₂漏孔的輸出訊號(hào)；I₀-檢漏儀本底。