1、 充氦充氮氟油檢漏平臺

　　充氦充氮氟油檢漏平臺是對半導體器件進行密封性、可靠性粗檢漏的專用設備，它與氦質譜檢漏儀配套使用，完成GJBI128A-97國家標準和GJB548-96軍用標準中，對半導體器件零件進行氦加壓精檢漏和充高壓氟油粗檢漏要求。

　　此平臺的工作過程是：

　　1、氦精檢漏實驗，將半導體零件或器件置于高壓容器中，按國家標準中的規定，根據被檢件的體積大小，施加不同的壓力和氦氣，保持不同時間，減壓后把被檢件從容器中取出來，在氦質譜檢漏儀上檢漏，根據漏率值判斷是否合格。

　　2、粗檢漏實驗，將精檢漏后的被檢件放入真空加壓罐中抽真空，注入一定量的氟油，再保壓一定時間，放空取出后，放入專門加溫的氟油中,根據有無氣泡判斷是否合格。全過程連貫進行，操作簡單,安全可靠,工作環境清潔。

2、多工位高真空排氣檢漏臺

　　多工位氦質譜檢漏高真空排氣檢漏裝置適用于工業領域高壓開關管、微波發射管等要求大批量、多品種、高靈敏度、快速檢漏產品的檢漏設備。

　　該系統由檢漏儀和檢漏平臺兩部分組成，檢漏儀用于判斷工件是否泄漏;檢漏平臺對工件進行真空預抽，檢漏平臺有左右兩組相互獨立的檢測工位，每組工位設置了1-3個檢測接口;一組工位抽真空的同時，另一組工位進行檢測或裝卸工件，縮短了檢測周期，提高了工作效率。由可編程工業控制器(PLC)對檢測全過程進行自動控制，保證了系統的穩定性、可靠性，操作十分簡單，方便了使用者。

　　主要技術指標和參數：

　　1、電源: 220V 12A

　　2、真空度:5×10-3 Pa·m3/S

　　3、工作節拍空載:20S/拍

　　4、啟動時間:<10min

　　5、響應時間: <5S

　　6、壓縮空氣: 5～6kg

　　7、環境溫度: 5～35℃

　　8、空氣相對濕度: <80

　　9、工作環境附近無強磁場、無劇烈震動、無腐蝕性氣體;室內通良好，以避免氦氣干攏。