全氟聚醚油(PFPE)分子鏈飽和，不含氫元素，化學(xué)性能特別穩(wěn)定，抗強(qiáng)氧化劑，與氧相容，不可燃，耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等化學(xué)物質(zhì)，高溫性能穩(wěn)定，并具有極低的蒸發(fā)速率和良好的潤(rùn)滑性能。不僅安全， 且使用壽命長(zhǎng)。

         半導(dǎo)體工業(yè)在芯片加工過(guò)程中必須使用一些特殊的氣體與某些具有毒性的強(qiáng)氧化劑，因而要求在工藝加工過(guò)程中廣泛使用的真空泵具有非常優(yōu)越的適應(yīng)性，PFPE因其優(yōu)異性能而得到廣泛使用。尤其在消除火災(zāi)或爆炸的危險(xiǎn)隱患等方面更是性能卓越。

         全世界對(duì)環(huán)境保護(hù)的要求越來(lái)越高。如何處理在真空泵的維修和使用過(guò)程中所產(chǎn)生的廢油是擺在所有公司面前的一大難題。傳統(tǒng)的處理方式是將回收的廢油送至當(dāng)?shù)貜U油處理廠焚燒。但PFPE是無(wú)法燃燒的。也就是說(shuō)，簡(jiǎn)單處理使用過(guò)的PFPE油會(huì)造成永久的環(huán)境污染。

         杜邦公司全氟聚醚廢油再造利用的所有環(huán)節(jié)和生產(chǎn)程序，都是建立在杜邦公司作為原始PFPE真空泵油制造商的技能和經(jīng)驗(yàn)基礎(chǔ)之上。所有再造工作均在美國(guó)新澤西州的Deepwater制造工廠完成。基于多年的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，杜邦公司PFPE真空泵油的再造生產(chǎn)過(guò)程，包括中和，過(guò)濾，脫氣，精餾，氟化再造以及精制等步驟，其中氟化再造是關(guān)鍵性的步驟，并輔以完善的分析測(cè)試手段包括氣相色譜，紅外色譜，原子吸收光譜等方法來(lái)實(shí)時(shí)跟蹤，分析并監(jiān)控有關(guān)酸度，粘度，蒸氣壓等關(guān)鍵性的指標(biāo)，以確保再造生產(chǎn)的PFPE再造油性能指標(biāo)與新生產(chǎn)的PFP油完全一致，并且保證在實(shí)際操作過(guò)程中性能完全等同，工藝工程的最優(yōu)化及完全閉式循環(huán)等的特點(diǎn), 使得再造收率達(dá)95～98%。

         杜邦公司是一家能夠做到上述高效、高質(zhì)，再造利用PFPE油的唯一制造商。

         除此以外，上述再造工程中，所有過(guò)濾，精制等程序所產(chǎn)生的廢棄物均嚴(yán)格按照美國(guó)相應(yīng)的法規(guī)來(lái)處理，并嚴(yán)格按照相關(guān)的程序，以利于環(huán)境保護(hù)。再造利用方案，對(duì)于客戶有如下顯著優(yōu)點(diǎn)：

（1）為客戶收集廢油無(wú)償提供包裝桶；

（2）節(jié)省了處置廢油的費(fèi)用和時(shí)間；

（3）由于再生油的重新使用，節(jié)省了操作運(yùn)行成本費(fèi)用；

（4）由于廢油的安全和合法處置，實(shí)現(xiàn)了環(huán)保目的；

（5）確保再生利用的油達(dá)到原產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)；

（6）杜邦公司將在整個(gè)操作過(guò)程中提供技術(shù)支持。

         鑒于此，國(guó)外幾乎所有的真空泵制造商和半導(dǎo)體芯片制造廠均采納此方案。收集所有用過(guò)的PFPE油，得到當(dāng)?shù)囟虐罟�司和其�?jīng)銷商的支持和服務(wù)。再生利用，實(shí)現(xiàn)環(huán)保，并降低成本。

         中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展迅速，環(huán)保要求不斷提高。半導(dǎo)體業(yè)廢油處理的環(huán)保問題已引起芯片制造廠及相關(guān)者的高度重視。目前，杜邦中國(guó)公司及其授權(quán)的經(jīng)銷商已在中國(guó)成功地建立了此項(xiàng)目的完善服務(wù)體系。一方面，把收集的PFPE廢油100% 送至美國(guó)杜邦公司新澤西工廠進(jìn)行再造利用，使中國(guó)國(guó)內(nèi)相關(guān)企業(yè)同樣得此再造利用方案的六大好處；另一方面，為中國(guó)的環(huán)保事業(yè)作出貢獻(xiàn)。

        注：本文系杜邦中國(guó)集團(tuán)有限公司委托發(fā)布的產(chǎn)品軟文。具體產(chǎn)品信息請(qǐng)致電杜邦公司。