小孔流導法質譜計校準裝置如圖3所示。校準壓力P可由已知流導C和通過流導C的氣體流量的測量值Q計算得到。

        這里R為小孔高壓和低壓端對應的壓力P和P1之比, 即R=P/P1, 壓力比也可以用小孔的流導和泵的抽速S表示為: R=[1+S/C]。校準裝置中的限流孔是一個面積為A 的圓形小孔, 圓形小孔的分子流導可用較小的不確定度來計算, 在一級近似條件下, 圓形小孔的分子流導為

       T為氣體溫度(K),M 為氣體分子量,A為小孔面積(cm2)。流導的精確值可表示為

        其中K是一個修正因子。對于直徑為1cm的薄壁圓形小孔,在室溫下, 對N2的分子流導約為9.4 L/s。與前面描述的直接比對法和壓力衰減法校準裝置相比,小孔流導法校準裝置需要知道小孔的流導和測量流量,因此對結構和操作要求都較高。

1.分壓力質譜計　2.校準室　3, 6, 7, 11, 14.隔斷閥　4.參考標準規　5.流量標準　8.流量計　9.微調閥　10.氣源　12.氣體引入系統　13.機械泵　15.熱傳導規　16.分子泵　17.放氣閥

圖3　小孔流導法校準裝置原理圖

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