陶瓷表面金屬化殘余氣體分析

2013-03-21 王輝 東南大學電子科學與工程學院顯示中心

陶瓷表面金屬化殘余氣體分析

王輝,肖梅,張曉兵

(東南大學電子科學與工程學院顯示中心 南京 210096)

  摘要:在真空系統中,殘余氣體是影響真空工藝性能及真空器件壽命的重要因素。陶瓷是一種疏松的原材料,在加工陶瓷材料的過程中,容易吸附各種各樣的雜質。

  實驗采用的兩種金屬化陶瓷樣品,基底均為素燒氧化鋁陶瓷,一是先進行過高溫金屬化鍍銀后電鍍金樣品,二是化學鍍Ni的樣品。使用四極質譜計對加熱前后的樣品進行測試,分析放氣特性。