普發真空在半導體行業的解決方案
現今我們生活中的許多劃時代的產品都離不開半導體技術。如果沒有真空技術,許多具有開拓性的發明諸如晶體管、集成電路是不可能成為現實的。這些半導體芯片被用于生產電腦、手機、數碼相機、MP3、DVD播放機、平板顯示器、閃存、汽車控件和家用電器。許多此類的產品只能在潔凈的真空環境下進行生產。憑借著豐富的產品組合,普發真空為半導體技術提供完整的解決方案。使用為半導體fab量身設計的產品,普發真空提供著令人映像深刻的一站式解決方案。
普發真空半導體fab完整的解決方案
我們的產品可用于fab中4個不同的樓層。最上一層的潔凈室包括產品生產和特殊的處理系統如APA 302和APR 4300。它們可以進行高質量的污染物處理。ASM 380檢漏儀提供工廠技術人員進行日常管路的巡檢和確保生產質量。此外,渦輪分子泵和DigiLine真空計則同PrismaPlus質譜儀一同安裝在機臺內。集成的A 100 L ES 干泵提供真空給預載室或傳送腔。它可以安裝在靠近腔體處,也可以是集成在系統中或者安裝在下一層fab中。
系統的冷卻設備、供電和射頻發生器被安裝在更下面一層。最低下一層則是真空干泵和減排系統。
Fab Model
普發真空的產品的眾多應用
所有的硅晶片的生產工藝階段都在fab內進行:比如刻蝕、檢測、鍍膜、雕刻工藝和離子注入。晶片生產廠商本身、零配件和包裝則有特定的生產區域。
來自于普發真空的解決方案廣泛的使用在諸如這類的fab工廠里,為半導體領域的精密生產和獨立的設計制造提供了整體的解決方案。
普發真空提供渦輪分子泵、前級泵、真空泵組、檢漏儀、真空計在如下的具體工藝中:
1、真空鍍膜
2、CVD工藝
3、刻蝕
4、離子注入和雕刻工藝
5、真空傳送
6、晶盤轉送
7、電子顯微鏡(SEM and SLM)