提問：

　　在我的渦輪分子泵組里，我用隔膜泵作為前級泵。但是我想要一種抽速更高、本底真空度更好的干式前級泵作為替代，因為我想要在高真空下達到更低壓力，而且更加快速地再生低溫泵。你有什么建議?有什么需要注意的? 在購買替代品之前有什么我應當考慮的嗎?

　　回答:

　　我們建議您采用我們的ACP系列干式前級泵，相比隔膜泵，該系列具有更高的抽速和更好的本底真空度。

　　背景：

　　ACP泵是一款多級羅茨泵。由于其設計，該類型的泵在抽吸模塊沒有密封。由于不存在易于變質損壞的抽吸模塊密封，運行時的性能參數穩定，泵所產生 的真空非常清潔，沒有微粒。通過減少磨損部件，使得泵可以達到很長的維護保養 周期，高達四年或22000運轉小時(在所有運行條件下)。這種風冷式泵有三個型號，抽速高達37m³/h，比我們最大的隔膜泵快四倍。此外，ACP泵的本底真空度至少比我們最好的隔膜泵好十倍。對于少量腐蝕性介質的抽吸，選擇采用惰性氣體 凈化的版本。具有氣鎮的ACP可以用于可冷凝介質。

　　你應該考慮以下要點：

　　1、如果真空泵輸送腐蝕性介質，當泵停機時可能會含有該介質殘留物。停電或緊 急停機時正是如此。空氣或大氣水分等氣體從排氣管反向擴散回到停止運行的 泵里。例如，空氣水分和鹵素形成的酸 會腐蝕泵材料。為了避免該過程，所有 ACP泵在泵出口上都配備有止回閥。

　　在高真空應用中，氣體流量非常小。因此，泵內部無法形成從內部在出口處打 開閥門的壓力。真空室和前真空線內的氣體成分在高真空下泵循環期間主要為輕質氣體，例如氫氣。如果這些氣體沒有被逐出前級泵，由于ACP泵定子和轉子之間的間隙，它們會擴散回到泵中，而且，由于使用中的渦輪泵的壓縮比恒定，它們還會導致高真空下總壓力升高。因此，如果你使用氣鎮，通過載氣流間歇性地逐出輕質氣體，這會給你的系統基礎壓力帶來積極作用。

　　雖然使用氣鎮導致前真空線總壓力上升至大約0.1mbar，但是由于前真空線的輕質氣體部分壓力降低，高真空側的總壓力將下降。

　　HiPace渦輪泵和ACP前級泵的組合可以在干式真空系統中輕松到達明顯低于10^-10 mbar(=10^-8 Pa)的本底壓力。

　　2、你在問題中提到你想要再生低溫泵。在低溫抽氣泵再生過程中，大量水蒸氣在短時間聚集在一起。為了避免水蒸氣在泵內冷凝，應當對其進行加熱。由于壓縮熱量增加，使用氣鎮使泵得以加熱。在低溫抽氣泵再生之前， 你應當激活ACP泵中的氣鎮至少三十分鐘。再生之后，氣鎮應當繼續運行至少三十分鐘。

　　兩項建議都涉及氣鎮的使用。對于可以控制和/或遠程控制的氣鎮，除了內置的開關閥門選擇以外，可以將變徑法蘭用螺釘固定到泵定子上代替標準閥門。具體應用的配件可以隨意連接到該適配器上。

　　當有腐蝕性介質時，應當使用惰性氣體，例如干氮氣，用作沖洗介質。

　　為了在停電期間防止你的系統通過氣鎮排氣，我們建議在前級真空處使用電磁閥。