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推薦復合分子泵牽引級參數(shù)對氦質譜檢漏儀性能的影響

復合分子泵作為氦質譜檢漏儀的重要部件,其自身的幾何參數(shù)在影響抽氣性能的同時也影響檢漏儀的檢測性能。

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