羅茨真空泵最大允許壓差的測(cè)量方法
最大允許壓差 maximum tolerable differential pressure
最大允許壓差是指泵連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)1h,不發(fā)生故障所允許的出口壓力與入口壓力差值的最大值。對(duì)于中真空羅茨真空泵,測(cè)量時(shí)的入口壓力應(yīng)等于或低于1×103Pa。
測(cè)試罩 test dome
具有精確規(guī)定形狀和尺寸的專用真空容器,被測(cè)量的氣體通過它進(jìn)入泵內(nèi),其上裝有壓力測(cè)量裝置。
如圖1所示,形狀為圓柱體。罩的軸向尺寸為1.5D,D是罩的內(nèi)徑。試驗(yàn)氣體入口位于罩的軸線上,并與連接法蘭的距離為D,進(jìn)氣口的排列應(yīng)使氣體自背離泵口的方向進(jìn)入測(cè)試罩。測(cè)量入口壓力的真空計(jì)在距離連接法蘭0.5D處,其軸線垂直于罩的軸線。測(cè)試罩的軸線應(yīng)垂直于泵入口法蘭平面。除了進(jìn)氣管路外,法蘭和測(cè)試罩之間的連接管路不應(yīng)穿出測(cè)試罩的內(nèi)壁。
測(cè)試罩的容積VD至少應(yīng)是泵腔有效容積VP的5倍。在泵入口必須連接一個(gè)異徑接頭,其長(zhǎng)度不應(yīng)超過0.5D(見圖1)。不同規(guī)格的泵適用的測(cè)試罩由表1給出。
壓力計(jì)
對(duì)于壓力高于或等于1Pa時(shí),其校準(zhǔn)精度為±5%,對(duì)于更低壓力,其校準(zhǔn)精度為±10%。
前級(jí)管路及前級(jí)管路上的測(cè)試罩
被測(cè)的羅茨真空泵出口與前級(jí)泵之間的管路為前級(jí)管路,應(yīng)按圖2設(shè)計(jì)制作。前級(jí)管路上的測(cè)試罩按圖1設(shè)計(jì)制作。前級(jí)管路上的測(cè)試罩直徑不小于前級(jí)管路的直徑D1,如不一致時(shí)應(yīng)加接異徑接頭,異徑接頭按圖1設(shè)計(jì)制做。