機械泵停泵時，泵出口的空氣壓力將使泵反轉，會使泵油返到真空室中，空氣也會進入到真空室從而破壞系統的真空。因此需要特殊的閥門把泵和真空室隔開，以防止空氣和泵油進入真空室。

        電磁壓差放氣閥是機械真空泵的入口專用閥門，其電源與機械泵的電源聯鎖，放氣閥置于泵入口管道中，其作用為：當泵斷電或控制開關斷開時，電磁閥動作，向泵入口放氣，并且靠大氣壓力自動關閉泵與真空室之間的管道。泵啟動時，電磁閥關閉，泵對閥腔內部抽空，然后閥板靠彈簧壓力打開，使被抽容器與機械泵進氣口接通。電磁放氣閥的常見故障及消除辦法如表8所示。

表8 電磁放氣閥常見故障及消除方法