一種鈣鈦礦結(jié)構(gòu)薄膜材料復(fù)數(shù)光學(xué)常數(shù)的反演

　　吳春華^1* 邱家穩(wěn)² 許 旻¹ 張佰森¹ 王潔冰¹ 李 林¹ 趙印中¹ 左華平¹

　　1.蘭州空間技術(shù)物理研究所表面工程技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室；2.中國(guó)空間技術(shù)研究院研究發(fā)展中心

　　摘要 為了獲得一種鈣鈦礦結(jié)構(gòu)鑭鍶錳氧La_0.8Sr_0.2MnO₃ 薄膜材料的復(fù)數(shù)光學(xué)常數(shù)，利用光學(xué)薄膜原理和數(shù)學(xué)優(yōu)化方法，并基于鈣鈦礦結(jié)構(gòu)材料的色散模型，對(duì)磁控濺射技術(shù)制備的不同厚度的鑭鍶錳氧薄膜在波數(shù)400～1250 cm^-1 范圍內(nèi)的反射光譜進(jìn)行了全譜擬合，并由擬合參數(shù)確定了薄膜的復(fù)數(shù)光學(xué)常數(shù)。

　　擬合結(jié)果顯示，測(cè)試光譜和擬合光譜具有高度的一致，說(shuō)明了此色散模型及全光譜擬合法在確定La_0.8Sr_0.2MnO₃薄膜復(fù)數(shù)光學(xué)常數(shù)的有效性和精確性。

　　關(guān)鍵詞 La_0.8Sr_0.2MnO₃ 薄膜 光學(xué)常數(shù) 光譜擬合 數(shù)學(xué)優(yōu)化