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VOx/TiOx/Ti多層薄膜的制備工藝與內耗研究
用磁控反應濺射法在玻璃和鉬片襯底上制備VOx/TiOx/Ti多層薄膜。用X射線衍射(XRD)、QJ31單臂電橋、薄膜內耗儀等測試了薄膜的晶體結構、電阻、內耗。
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塑料表面濺射電磁屏蔽膜的研究
本文采用磁控濺射技術在聚酯塑料上制備出附著力大于5MPa、2GHz~4GHz頻率范圍內屏蔽效能大于60dB的復合結構的電磁屏蔽膜,并研究了導電膜、導磁膜及其復合膜層的電磁屏蔽特性。
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基底溫度對四元疊層硒化法制備銅銦鎵硒(CIGS)薄膜的影響
利用四元疊層硒化法制備了銅銦鎵硒(縮寫為CIGS)薄膜,重點分析了在疊層法制備CIGS薄膜過程中,基底溫度對CIGS薄膜的晶體結構,表面形貌以及各種元素沿深度分布的影響。
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PI襯底上電沉積Cu薄膜的晶面擇優取向
采用硫酸鹽電沉積法,利用X 射線衍射儀(XRD)、掃描電鏡(SEM)等手段研究了不同電沉積條件下在PI膜表面制備的Cu薄膜的晶面擇優取向、平均晶粒尺寸及表面形貌。
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電磁熱泵技術在真空制鹽中的應用及其節能研究
電磁熱泵具有泵和電機之間無軸傳動、安全靜密封、永不泄露及一體化的特點。本文在簡要介紹電磁熱泵技術性能和特點的基礎上將其創造性的應用于真空制鹽系統中,從而達到節能目的。
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一種嶄新的鍍膜技術——等離子體束濺射
詳細描述一種等離子體高效濺射系統及應用工藝。此種嶄新的濺射技術結合了蒸發鍍的高效及濺射鍍的高性能特點, 特別在多元合金以及磁性薄膜的制備, 具有其他手段無可比擬的優點。
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新型等離子體束濺射鍍膜機
本文介紹了新型的等離子體束濺射鍍膜機的系統組成、特點、試驗結果等內容。該鍍膜機將等離子體發生和控制技術應用于濺射鍍膜中,克服了磁控濺射的靶材利用率低及難以沉積鐵磁性材料的缺點。
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