微調(diào)閥的工作原理及結(jié)構(gòu)示意圖

2014-10-10 郭方準 實用真空技術(shù)

　　微調(diào)閥的主要應(yīng)用是精確控制向真空容器內(nèi)導入氣體的流量。圖1所示的氣體流量微調(diào)閥，通過控制無氧銅和超硬合金接觸面的氣體導通率來控制氣體流量，信賴性高。微調(diào)閥全部由金屬構(gòu)成，可以耐高溫烘烤，能直接連接在超高真空腔體上。

氣體流量微調(diào)閥的示意圖

圖1 氣體流量微調(diào)閥的示意圖