閘板閥的工作原理及結(jié)構(gòu)示意圖

2014-10-10 郭方準(zhǔn) 實(shí)用真空技術(shù)

　　閘板閥中的密封面，相對(duì)于氣體流路的垂直方向運(yùn)動(dòng)而實(shí)現(xiàn)氣流封止，其構(gòu)造類(lèi)似于水庫(kù)的閘門(mén)，故稱閘板閥(圖1)。由于密封面為平面，為承受大氣壓強(qiáng)，整體構(gòu)造比較厚重，體積也比較大。閘板閥內(nèi)部的滑動(dòng)部分通過(guò)焊接波紋管實(shí)現(xiàn)超高真空中的直線驅(qū)動(dòng)，密封多采用氟膠圈。而閘板閥本體的密封，考慮到高溫烘烤，使用金屬(In)絲密封。

閘板閥的示意圖

圖1 閘板閥的示意圖

　　考慮到閘板閥兩側(cè)的壓強(qiáng)差，閘板閥的安裝有方向性，即密封面要朝向較高真空一側(cè)。正規(guī)的閘板閥，在較高真空面通常會(huì)做一個(gè)三角形標(biāo)志。

　　真空腔體的連接，或者腔體和排氣泵(分子泵、離子泵)的連接，多使用閘板閥。