因多晶硅工廠既有化工行業的特性，又有冶金行業的特性，所以在閥門選型中有一定的特殊性。既要有的地方需要高可靠性的閥門，有的地方需要耐磨的閥門，而且還用到交變工況(在-70 到300 兩個工況)的特殊閥。下邊主要從兩個方面介紹在多晶硅公司閥門選型應注意的問題。

　　1、從化工行業特性如何提高可靠性來論述。大多數化工廠都具有有毒有害、易燃易爆的氣體和液體，而多晶硅廠的主要介質為ST，且STC與氧氣反應可生產氫氣，TCS與水劇烈反應產生氯化氫。因此對可靠性要求就更高。能夠適應STC和TCS的材質和閥門形式都是當今的研究課題。因此：

　　(1)介質為氯硅烷、冷凝劑、廢氣、氫氣、氯化氫的調節閥80%以上采用波紋管調節閥。圖1為波紋管調節閥的內部結，其獨特的波紋管內部結構杜絕了閥桿處外漏;

　　(2)而如口徑不較大或溫度大于500℃時不能采用金屬波紋管調節閥時，可采用氮封形式阻止空氣與閥內部介質的接觸;

　　(3)而介質對人體危害不大，卻對大氣和水有很大危害的工況如冷劑氟利昂時，可采用環保級密封，來有效阻止介質外漏;

　　(4)介質為蒸汽時最好采用石墨填料或增強型PTFE填料，最好閥芯閥座采用司太萊堆焊。因蒸汽介質的汽蝕現象嚴重，采用堆焊閥門有效調高閥門壽命;

　　(5)軟密封球閥因結構簡單且泄露等級高也被大量使用，在火災危險場所必須具有防火設計和閥桿防噴出設計，保證在火災發生時安全可靠運行;(6)在交變工況時，采用的閥門必須保證在低溫時不漏高溫不堵，而不是滿足一個溫度條件。在尾氣吸附工況(在-70℃到300℃兩個工況)采用的閥門材質和結構都與其它場合不同;

圖1 波紋管調節閥內部結構

　　2、從化工行業特性如何選用難磨閥門來論述。因為硅粉的硬度為58HRC~62HRC，且硅粉顆粒由于硅粉顆粒小，比水泥顆粒小20倍~100倍，此特性決定了閥門選用的特殊性。表1為主要難磨閥門性能的比較。

表1 常用耐磨閥主要性能比較

　　(1)應根據介質、溫度、開關頻率、cv值、口徑來選擇合適結構的耐磨閥;

　　(2)而耐磨球閥應結構簡單，價格相對低廉，也廣泛應用于低頻率或還有少量的硅粉顆粒的場所。選用耐磨球閥的注意事項有：

　　①沒有雙向切斷要求的前提下，盡量采用單閥座浮球切斷結構，這樣閥門會較少出現抱死。閥座結構必須是防顆粒結構;

　　②閥門的閥座和閥球必須采用高硬度涂層，涂層材料應該高于硅粉硬度，故以碳化鎢(WC)或碳化鉻為主(CrC)，兩者的硬度基本上相同，都高于硅粉硬度。不能采用比硅粉硬度小或者相當的斯泰萊或者鎳基合金涂層。如果還有問題，就要嘗試WC+HASC合金。由于碳化鎢不耐腐蝕，而碳化鉻耐腐蝕，優先選擇碳化鉻;

　　③氣動執行機構在滿足設計要求的前提下，盡可能使用雙作用執行機構帶手輪，因為萬一硅粉進入閥座腔或其他不適當的位置，會導致閥桿扭矩的非線性快速增大，彈簧返回的推力有時無法推動閥球完全回到正確的位置。

　　(3)選用圓盤閥和耐磨球閥時，應帶返吹結構，防止閥門抱死。