①油增壓泵(主泵)串聯機械泵(前級泵)的真空系統。該系統的工作壓強范圍為1.33～1.33×10^-1pa。其優點是抽氣能力大，系統簡單，振動小，工作穩定可靠，維修方便，成本低。缺點是預抽時間長(同羅茨泵系統比較)，因為在1.33～133.3Pa壓強范圍內，油增壓泵和機械泵抽速部下降；工作中需要較貴重的增壓泵油。

    ②羅茨泵串聯機械泵的真空系統。該系統的工作壓強范圍為1.33～1333Pa。不但抽氣能力大，而且起動快。預抽氣時間短，因為在1.33～101325Pa壓強范圍內。機械泵和羅茨泵最大抽速能很好連接上，缺點是工作時有振動，且噪音大；工作中隨時間增加，羅茨泵性能下降。圖14就是這種系統，它是用在真空離子滲碳和真空淬火熱處理工藝中的系統。這里除羅茨泵系統之處，又并聯一個小機械囊。它在離子滲碳時開動，并同時停止羅茨泵系統，可節省能量。

    ③羅茨泵串聯小型羅茨泵(中間泵)，再串聯機械泵的真空系統，其工作壓強范圍為O.133～1333Pa。不但工作壓強范圍大，而且工作真空度高，同時具備了羅茨泵系統的特點。中間串聯的小型羅茨泵減小了主羅茨泵對前級機械泵的依賴性，因為壓縮比減小，加寬了工作壓強范圍和提高了極限真空度。

圖：典型的住真空系統

    ④以油增壓泵和羅茨泵為主泵，兩個泵出口串聯羅茨泵．再串聯機械泵的真空系統，其工作壓強范圍為O.133～1333Pa。該系統具有羅茨泵系統和油增壓泵系統的雙重特點，如圖15所示，被稱為真空自耗爐的典型系統，對于熔煉鈦合金具有突出優點。

    ⑤除了上述幾種之外，還有油增壓泵串聯羅茨泵，再串聯機械泵的真空系統。還有羅茨泵串聯水環泵的真空系統，它適合于排出灰塵較多的應用設備上。