(1)流導(dǎo)

    就一個真空系統(tǒng)管路元件(包括導(dǎo)管、閥門、捕集器等)來說，若其入口壓力P₁和出口壓力P₂不相等，即管路元件的兩端存在壓強差P₁-P₂，則元件中將有氣流從高壓側(cè)流向低壓側(cè)(如圖3)。

管道中氣流從高壓側(cè)流向低壓側(cè)

    若流經(jīng)元件的氣流量是Q，實驗和理論都證明Q值的大小與元件兩端的壓強差P₁-P₂成正比。用數(shù)學(xué)式子來表示Q與P₁-P₂之間的關(guān)系，則可寫成式(5)。

    該比例常數(shù)C稱為流導(dǎo)。式(6)即是流導(dǎo)的定義式。它表明：在單位壓差下，流經(jīng)管路元件氣流量的大小被稱為流導(dǎo)。在國際單位制中，氣流量Q的單位是Pa·m³／s，P₁-P₂的單位是Pa，所以流導(dǎo)的單位是m³／s。

流導(dǎo)計算公式

    流導(dǎo)的大小說明在管路元件兩端的壓強差P₁-P₂一定的條件下流經(jīng)管路元件的氣流量的多少。從式(5)可見，當(dāng)壓差P₁-P₂一定時，流導(dǎo)C的值較大，那么流經(jīng)管路元件的氣流量Q的值就較大；反之流導(dǎo)C的值小，則流經(jīng)元件的氣流量Q就小。所以作為真空系統(tǒng)管路元件，不管是導(dǎo)管、還是閥門、捕集器、除塵器等，都希望它的流導(dǎo)值盡可能大一些，使氣流能順利地通過。因此，流導(dǎo)是真空系統(tǒng)管路元件的一個重要參數(shù)。在真空系統(tǒng)設(shè)計計算中，要計算管路元件以及某段真空系統(tǒng)管路的流導(dǎo)。

(2)流導(dǎo)幾率

    流導(dǎo)幾率也稱為傳輸幾率，其物理意義是氣體分子從元件的入口入射進入元件能從管路元件的出口逸出的概率。在分子流狀態(tài)下，利用流導(dǎo)幾率來表征真空系統(tǒng)管路元件對氣體的導(dǎo)通性能更直觀，更本質(zhì)。用p_r來表示流導(dǎo)幾率，則流導(dǎo)幾率的定義式為式(7)。

流導(dǎo)幾率的定義式

    從式(8)可以看出，管路元件的流導(dǎo)C等于該元件入口孔的流導(dǎo)C_fk和其流導(dǎo)幾率P_r的乘積。通常，管路元件入口孔的流導(dǎo)C_fk是很容易求得的，如果知道了元件的流導(dǎo)幾率P_r，則利用式(8)可以很容易地計算出元件的流導(dǎo)。