真空泵的類型及工作壓力范圍

2013-04-29 巴德純 東北大學

真空泵的類型

  氣體輸送泵是一種能使氣體不斷吸入和排出泵外以達到抽氣目的的真空泵。它含有變容式和動量傳輸式兩大類。

  變容真空泵是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣、壓縮和排氣的裝置 。

  動量傳輸式真空泵是利用高速旋轉的葉片或高速射流,把動量傳輸給被抽氣體,使之吸入、壓縮、排氣的一種真空泵。

  氣體捕集泵是一種將氣體吸附或凝結在泵內表面上的真空泵。

真空泵分類

真空泵分類

真空泵工作壓力范圍

各種真空泵工作壓力范圍

各種真空泵工作壓力范圍