任何油擴散泵真空系統中都會因發生故障而有可能影響設備的性能或生產能力。任何一只閥門的誤操作都會使擴散泵泵油返流到真空室內，從而污染真空室和產品。前級管道上的漏孔、機械泵油液面高度不適當或前級管道閥門的失靈都會使前級壓力超過臨界值。當前級壓力超過臨界值時，擴散泵油會迅速返流到真空室里去。

　　在許多情況下，泵液的返流是由設備發生故障或操作步驟不當造成的。要做到這些注意事項的最簡便的辦法就是實現系統全自動操作。有了自動控制和定期維護，就可以提供完善的故障保護。并使返流減少到只有很少一點有機物污染的程度。

　　下面列出了操作人員必須熟悉的幾條注意事項。

　　1.不能用機械泵將真空室直接抽至低于13.3Pa的壓力。因為當壓力低于13.3Pa時會引起機械泵油蒸汽分子返流到真空室而造成污染。如果在機械泵與真空室之間有油氣捕集器， 則允許機械泵抽到13.3Pa以下壓力。

　　2.如果在擴散泵入口與高真空閥之間裝有液氮冷阱，則在抽氣時不要在真空室的壓力高于10^-2Pa 時，給阱加入液氮，否則將使冷阱中凝結過多的水氣。冷阱加液氮前，要把冷阱貯液罐中的所有水凝液清除掉，以避免水凍結在阱內。

　　3.在因為需要必須將擴散泵（或油增壓泵）通大氣之前，應將泵油冷卻到安全溫度以下，防止高溫下泵油的氧化。

　　4.要防止因前級管道上的漏水、機械泵油液面高度不適當或前級管道閥門的失靈使擴散泵的前級壓力超過臨界值，當前級壓力超過臨界值時，泵液會迅速返流到真空室里去。

　　5.擴散泵最好配備熱保護繼電器，當發生停水事故時，能立即使加熱器斷電，并關閉泵入口閥門，防止泵液因溫度過高變壞和返流。

　　6.擴散泵在穩定的工作狀態下，不應超過最大氣體負荷能力（最大抽氣量）。應盡量避免在15～10^-1Pa 的壓力范圍內長期工作，因為在該壓力范圍內，擴散泵和粗抽泵有最大返流率。

　　7.擴散泵工作時應經常檢查泵是否有局部過熱，檢查冷卻水溫，水溫過高時應加大冷卻水量。

　　8.擴散泵的使用環境應要求盡量符合規定，如果室溫高于35℃，濕度大于80％，泵的性能會下降。

　　9.擴散泵正常工作時，如真空系統的真空計規管打碎，或放氣閥突然打開時，應馬上關閉高真空閥。防止泵油氧化。

　　10.擴散泵停止使用期間應真空保存，冷卻水用壓縮空氣吹干凈。