擴散泵使用高速的蒸汽直接噴射泵在喉嚨氣體分子分解成的泵出排氣底部。于1915年主辦沃爾夫?qū)�蓋德和使用汞蒸氣，它們是高真空的自由分子流中，把氣體分子運動，能更好地為比傳統(tǒng)的流體動力學 擴散的理解，政權(quán)運作泵第一類。蓋德使用的名稱擴散泵的設(shè)計是因為他在發(fā)現(xiàn)氣體不能擴散對汽流為基礎(chǔ)，但將與它進行的廢氣。但是，工作原理可能更精確地氣描述射流泵 ，由于擴散起到了重要作用，而且在其他高真空泵。在現(xiàn)代課本，擴散泵是歸類為動量轉(zhuǎn)移泵。擴散泵廣泛應(yīng)用于工業(yè)和研究應(yīng)用。大多數(shù)現(xiàn)代擴散泵使用作為工作介質(zhì)。 塞西爾雷伯奇發(fā)現(xiàn)了1928年使用的可能性硅油硅油。

油擴散泵

　　油擴散泵的運作是一個低蒸氣壓油。其目的是實現(xiàn)更高的真空（低壓）由正排量泵僅比使用是可能的。 雖然它的使用主要是有關(guān)在高真空范圍（下降到10-9毫巴），今天的擴散泵產(chǎn)生的壓力接近10 -10毫巴適當?shù)臅r候與現(xiàn)代流體及配件使用。使擴散泵高，超高真空有吸引力的是它的高抽所有氣體和抽速每單位成本低，速度比其他類型的泵在同一真空范圍內(nèi)使用。擴散泵不能直接排放到大氣中，所以前級機械泵通常用于維持約0.1毫巴出口壓力。

六英寸油擴散泵及油擴散泵工作原理圖

　　高速噴射產(chǎn)生的沸騰液體和指導大會通過噴射蒸汽。噴嘴內(nèi)，從層流的變化，以超音速和分子 。通常的戰(zhàn)斗機中使用，以加強抽水行動。的擴散泵采用外冷卻或空氣流或水線。由于蒸汽噴射冷卻的影響外的擴散泵殼，工作液濃縮，被回收，并指示回到鍋爐。抽水氣體繼續(xù)流入的壓力在增加，泵的基礎(chǔ)，流經(jīng)擴散泵出口在何處壓縮輔助前級機械泵和枯竭的環(huán)境壓力，進行。

　　與渦輪分子泵和低溫泵，擴散泵沒有移動部件，因此相當耐用，可靠。他們可以在壓力的作用10-10〜10-2毫巴范圍。他們只能通過驅(qū)動對流 ，從而對能源效率非常低。

　　擴散泵的一個主要缺點是進入真空室的趨勢backstream石油。這油能污染的表面或內(nèi)部的后室與熱絲或放電接觸可能會導致碳和硅的存款。由于回流，油擴散泵是不適合高度敏感分析設(shè)備或需要一個非常潔凈的真空環(huán)境中的其他應(yīng)用程序使用，但汞擴散泵可能是在超案件的高真空室用水銀沉積。通常冷阱和擋板，以盡量減少用于回流，雖然在有些情況抽水能力的喪失這一結(jié)果。

　　一個油擴散泵操作常見的錯誤是在熱油接觸的氣氛。如果發(fā)生這種情況，將燃燒的石油，并予以更換。一個系統(tǒng)應(yīng)始終被冷卻到室溫接觸之前的氣氛。

蒸汽噴射泵

　　蒸汽噴射器是一種擴散真空蒸餾及冷凍泵流行的一種干燥 。一個蒸汽噴射泵認為，必須從蒸汽真空室中刪除。蒸汽噴射器可以有一個或多個階段，并沒有各階段之間的冷凝器英寸。

壓縮空氣噴射泵

　　其中擴散真空泵類是多級壓縮驅(qū)動噴射空氣。這是非常流行的應(yīng)用中使用的對象是各地和真空吸盤線遷出。