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油擴散泵抽氣速率與被抽氣體的關系
通過對油擴散泵抽氣速率、氣體分子平均熱運動速度和分子流態下氣體流導的分析, 指出油擴散泵對不同氣體的抽氣速率具有選擇性, 給出了泵對不同氣體和空氣抽氣速率比值的計算值, 同時指出電離規的規管常數與氣體種類有
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擴散泵的概念以及常見種類
油擴散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似,都是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達到抽氣的目的,故有如水蒸汽噴射泵相似的特點。不同點是擴散泵工作在高真空區域,其工作壓強范圍為10-2~10-6pa。
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真空泵的工作原理
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