如今,國內外的市場上出現了各種無油的干式泵,但都是一些動態式的真空泵, 可將氣體從100Pa壓縮到大氣壓105Pa, 將氣體排出泵外。這些泵典型的抽氣曲線如圖18所示。

圖18　無油泵的典型抽氣曲線

         圖18中的曲線1為分子牽引泵機組(Alcatel),2為往復式活塞泵(Varian),3為多級羅茨泵,4為爪型泵, 5為螺桿式真空泵。

        (1) 對于清潔的要求, 那些用油潤滑的真空泵都有一個潛在的油蒸汽的污染源存在, 這個問題在無油泵中是要很好解決的, 另一個是灰塵的污染源。在真空系統中要減少或清除灰塵的污染, 那時無油干式泵才能被認為是無油、無塵, 真正清潔的真空泵。

        (2) 對安全的要求。抽除一些活潑氣體, 以及一些副產物會在泵中沉積。嚴重時, 會干擾泵的正常工作, 降低泵的使用壽命, 無油泵對抽氧氣是安全的。

        (3) 運行成本。應用PFPE泵油價格昂貴。盡管壽命長, 但用戶用這種泵油要半年換一次, 每1kg 價格約200美元,因此干式泵必須成本低, 使用戶覺得還是使用無油泵來得便宜。

          干泵真的無油嗎?由前邊的定義得知, 抽氣腔是無油的。而機械傳動部分還需油類潤滑, 例如多級羅茨泵、爪型泵和螺桿型干式泵等。其傳動齒輪的軸承都需要潤滑。利用迷宮式密封結構, 去隔離泵腔和齒輪箱等部位, 最簡單的方法是在泵腔和需要潤滑的部位之間充入干燥的惰性氣體, 或安裝密封圈, 特別是羅茨泵一定要有良好的防返流措施才行。大部分羅茨泵在低壓下使用。迷宮式結構能防止潤滑油進入泵腔, 但有可能使氣體通過, 因為齒輪箱中的氣體壓力不受限制, 如果齒輪箱內的氣體壓力大于泵腔內的壓力, 有壓力梯度存在就會出現齒輪箱內油蒸汽向泵腔內的擴散。因此對羅茨泵的結構設計要很好考慮, 將齒輪箱中的油池面上,進行減壓預抽, 控制齒輪箱中的氣體壓力, 并通過唇形密封圈, 將油池與泵腔隔離。