帶腐蝕性物料的真空系統，往往對密封性要求嚴格。為了進行帶腐蝕性物料的真空系統在線檢漏而進行研究，分析可行的檢漏方法，提出適用手段。通過分析，經過分級冷凍、物料處理及選用適合的檢漏步驟，能夠使氦質譜檢漏儀滿足負壓檢漏條件，從而使用噴氦法確定漏點位置，使用氦罩法獲得準確的漏率。實際應用證明，該方法用于帶腐蝕性物料的真空系統在線檢漏，能夠準確、有效的檢測漏點位置及漏率。該研究為帶腐蝕性物料的真空系統在線檢漏提供了技術支持。

　　引言

　　真空系統在使用過程中壓力出現異常增加，此時系統可能是出現了漏點，如果系統的漏點不及時判斷并消除，系統內的空氣不斷積累，會導致系統無法正常使用。對于正在使用的帶有腐蝕性物料的真空系統，要找到并消除漏點，通常步驟為：回收物料→清洗系統→抽空檢漏→消除漏點→供料并投入使用。步驟多、周期長，對于暫時無法回收物料的系統，則不適用。這時尋找一種適合不卸料情況下的在線檢漏方法極其重要，文章對此進行研究。

1、真空系統常見檢漏方法分析

　　根據文獻，檢漏方法可以分為兩大類，即壓力檢漏法和真空檢漏法。對于帶腐蝕性物料的真空系統，通常為了防止物料外漏，內部壓力通常小于一個大氣壓(10⁵ Pa)。因此檢漏方法上主要考慮真空檢漏法，表1列舉了常見的真空檢漏方法。

　　在選擇檢漏儀器和方法時，最重要的是能夠達到所要求的檢漏靈敏度，其次還要考慮示漏物質在空氣中的含量以及示漏氣體的物理性質和化學性質，如濃度、擴散率、分層、堵塞、易燃易爆、腐蝕、有毒有害等，同時由于腐蝕性物料通常為酸、堿等物質，示漏氣體還應考慮與物料的反應。對于帶腐蝕性物料的真空系統，一般總漏率要求小于10^-6 Pa·m3/s，系統壓力為低真空(10²～10⁵ Pa)。根據以上分析，對照表1，同時滿足漏率和壓力要求的方法為差動熱傳導真空規法、具有吸附阱的熱傳導真空規法等真空規檢漏法，但是此類檢測真空規的燈絲通常不耐物料腐蝕，吸附阱還可能會和物料反應。因此常規方法較難滿足檢漏要求，需要考慮使用非常規的方法。

表1 真空檢漏方法

2、帶腐蝕性物料真空系統檢漏的非常規方法分析

　　經過查閱文獻及檢漏過程中的總結，得到一些適用于帶腐蝕性物料的非常規檢漏方法，主要包括緊固部件法、臨時密封法、負壓采樣法等。

　　2.1、緊固部件法

　　該方法適用于連接件松動造成的漏點。如經過冷熱沖擊造成的連接件松動。

　　這種方法通過對系統連接部位逐一檢查，對發現松動處進行緊固，同時觀測真空參數進行漏點檢測。如果經過緊固真空指標好轉，證明該處為漏點，消除的漏率可以用公式(1)估算。

　　式中：ΔQ 為消除的漏率，Pa·m³/s；ΔP0 為消漏前指定時間內封閉真空系統的壓力上漲量，Pa；ΔP1 為消漏后指定時間內封閉真空系統的壓力上漲量，Pa；V為封閉真空系統的總容積，m3；t 為指定時間，s。使用這種方法必須找到松動部位，對于連接口繁多的系統工作量大，同時如果漏點不是由于連接件松動造成，則無法找到并消除。

　　2.2、臨時密封法

　　如果漏點是系統腐蝕等原因造成的漏孔，同時通過分段測量壓力等方法發現了可疑部位，可在懷疑有漏部位涂抹酒精或使用真空封泥實現臨時密封，如果真空參數好轉，可以判定該部位是漏點，判斷出漏點后便可以進行消除，消除的漏率同樣可用公式(1)估算。使用這種方法必須知道可能的漏點部位，有針對性的操作。并且酒精易揮發，必須在極短的時間內發現漏點。真空封泥不易清除，可能堵塞漏點無法判斷漏點具體位置并消除，為以后系統使用造成隱患。

　　2.3、負壓采樣法

　　帶腐蝕性物料的真空系統如果帶有尾氣泵，可以在尾氣泵排氣口放置帶吸槍的檢漏儀，啟動尾氣泵并對真空系統噴氦，再由吸槍捕捉氦氣。這種方法優點是可判斷以上兩種原因造成的漏點，缺點是吸槍易被水氣與油污污染，吸嘴法檢漏靈敏度較低、誤差大。

　　以上列舉了常見的三種非常規方法，其檢漏方法有一定局限性，因此解決該類的問題，需要尋找更適合的靈敏度更高、誤差更小的檢漏方法。

7、結論

　　文章研究了帶腐蝕性物料的真空系統的檢漏方法，分析了相關方法，并提出使用適合的檢漏方法和步驟，能夠使氦質譜檢漏儀滿足檢漏條件，采用氦質譜檢漏噴吹法找到漏點位置，利用氦罩累積法判斷出較為準確的漏率。在實際工作中運用這種方法，解決了內部帶腐蝕性物料的真空系統在線檢漏問題，為該類問題提供了技術上的參考。