真空泵的用途：

　　1、主泵：在真空系統(tǒng)中，用來獲得所要求的真空度的真空泵。

　　2、粗抽泵：從大氣壓開始，降低系統(tǒng)的壓力達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵。

　　3、前級(jí)泵：用以使另一個(gè)泵的前級(jí)壓力維持在其最高許可的前級(jí)壓力以下的真空泵。前級(jí)泵也可以作粗抽泵使用。

　　4、維持泵：在真空系統(tǒng)中配置一種容量較小的輔助前級(jí)泵，維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。

　　5、粗(低)真空泵：從大氣壓開始，降低容器壓力且工作在低真空范圍的真空泵。

　　6、高真空泵：在高真空范圍工作的真空泵。

　　7、超高真空泵：在超高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。

　　8、增壓泵：裝在高真空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統(tǒng)在中間壓力范圍內(nèi)的抽氣量或降低前級(jí)泵容量要求的真空泵(如機(jī)械增壓泵和油增壓泵等)。

各種真空泵適用的工藝類型：

　　1、水環(huán)真空泵：適用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空干燥、真空保鮮、真空儲(chǔ)藏、真空輸送、真空成型等工藝。

　　2、往復(fù)真空泵：適用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真空過濾、真空造型、真空干燥、鋼液真空處理等工藝。往復(fù)真空泵與水環(huán)真空泵的使用工藝基本相同。但是，往復(fù)真空泵不能直接抽水蒸氣，需要抽水蒸氣時(shí)一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機(jī)系統(tǒng)冷卻。

　　3、油封機(jī)械真空泵(包括滑閥泵、旋片泵、定片泵)：適用于真空蒸餾、真空干燥、真空浸漬、真空燒結(jié)、真空絕熱、真空釬焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝。當(dāng)前，油封機(jī)械真空泵作為直排大氣的真空泵，使用的量大面廣。

　　4、羅茨真空泵(機(jī)械增壓泵)：適用于真空燒結(jié)、真空釬焊、真空浸漬、真空干燥、真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉等工藝。決大多數(shù)羅茨泵都不能用于直排大氣，需要配備旋片泵或滑閥泵作為前級(jí)泵使用。濕式羅茨泵可以直排大氣，主要用于造紙工業(yè)。

　　5、油增壓泵：適用于真空冶煉、真空燒結(jié)、真空釬焊、真空熱處理等工藝。它與機(jī)械增壓泵相類似，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級(jí)泵使用。

　　6、油擴(kuò)散泵：適用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真空提純、真空分析儀器、真空檢漏儀、生產(chǎn)電真空器件、宇宙空間模擬、加速器真空系統(tǒng)等工藝中使用。它適合于抽取高真空，本身不能直排大氣，必須配備前級(jí)泵使用。

　　7、干式真空泵(羅桿泵、渦旋泵、爪形泵)：適用于無油清潔的真空工藝過程，例如半導(dǎo)體行業(yè)、電子行業(yè)、化工行業(yè)等各種工藝中，這幾種泵都能直排大氣。

　　8、吸附泵：適合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器、以及各種要求清潔無油的真空系統(tǒng)中使用。

　　9、鈦泵(濺射離子泵、升華泵)：適用于真空鍍膜、電真空器件、大規(guī)模集成電路、表面物理、表面化學(xué)、熱核物理、等離子體物理、超導(dǎo)技術(shù)等工作中。

　　10、分子泵：適用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化學(xué)、等離子體物理、光學(xué)儀器、熱核反應(yīng)、宇航技術(shù)等工作中。

　　11、水噴射泵：適合于真空倒料、真空輸送、化工、化纖、制藥、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚、真空除氧等工業(yè)領(lǐng)域。

　　12、水蒸氣噴射泵：適合于真空冶煉、真空脫氣、真空蒸發(fā)、真空干燥、真空回潮等工業(yè)領(lǐng)域。

　　13、低溫泵：適合于真空鍍膜、表面物理、超導(dǎo)技術(shù)、宇航技術(shù)等領(lǐng)域中。