組成電真空器件的金屬零件在機加等過程中表面要沾污到一些油污，如果零件沒有得到有效的去油清洗，帶有殘留污染物的零件裝配到高真空環(huán)境中，可能成為大量氣體和蒸氣的來源，影響器件的真空度和使用壽命。結合零件表面油污種類、特性，對兩種去油方法進行對比：通過潔凈度測試、真空熱處理和XPS 表面殘留分析測試結果，說明含活性劑成分的水基清洗液對表面沾污皂化油和非皂化油類的零件清洗效果好，安全無殘留，適合高要求的電真空金屬零件的去油清洗。

　　電真空電子器件通常稱為電子管,它是電子裝備的關鍵器件，它的性能和質量的優(yōu)劣對電子裝備的性能和質量常起至關重要的決定作用，電真空器件是由陶瓷- 金屬封接及金屬與金屬焊裝而成，而組成電真空器件的金屬零件要經過加工、處理、運轉等過程，表面要沾污到一些油污，如果零件沒有得到有效清洗，帶有殘留污染物零件裝配到高真空環(huán)境中，可能成為大量氣體和蒸氣的來源，這種意外的氣體和蒸氣來源將使管內原有氣體的純度變差，以致無法獲得預期的特性，從而影響器件的真空度和使用壽命。零件能否得到有效清洗與去油工藝密切相關，因此真空技術網(www.chvacum.com)認為有效的清洗工藝在電真空器件的生產中是非常重要的。但用于電真空行業(yè)零件的清洗與一般行業(yè)的清洗不同，不僅要使清洗后的零件達到一定的潔凈度(油污盡可能地被去除)，還要求清洗劑成分盡可能地少殘留零件表面上。

　　目前金屬零件的去油方法很多，以表面活性劑為主體的水基清洗成為金屬清洗行業(yè)的主要發(fā)展方向，各行業(yè)中使用的水基清洗劑成分很復雜，主要含有表面活性劑、助洗劑、緩蝕劑、助溶劑、消泡劑、乳化劑等各種成分，而市售的水基清洗劑成分含量不穩(wěn)定，不適合有特殊要求的電真空器件的清洗，因此自行研究、確定和固化清洗去油方法或工藝對于有特殊要求的電真空行業(yè)是很重要的。

1、零件表面的油污金屬零件去油方法

　　電真空用金屬零部件表面油污種類及去油方法

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2、對去油效果的評價

　　電真空用金屬零件的不同去油方法的效果評價

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3、結論

　　研究結果表面，使用帶有表面活性劑的化學堿液去油方法，零件去油后的潔凈度達到Sandia中子管生產線清洗的水平———10°左右，零件表面比較潔凈，同時零件表面無殘留成分，該方法是有效、安全的。要提高零件表面的潔凈度水平，合適的去油工藝非常重要，后續(xù)的熱處理無法將零件殘留的油污分解，此外去油前零件表面的油污成分要維持穩(wěn)定，這樣去油工藝才能固化，去油后產品的質量才能穩(wěn)定。

參考文獻

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　　[2] 傅獻彩，沈文霞. [M]. 物理化學，北京：高等教育出版社,1961.

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