本實驗分別討論了采用三種不同錐角的電極下真空沿面放電時等離子體的生成特性。采用朗繆爾探針法對真空內沿面放電產生的等離子體參數進行測量。圖9 為實驗過程中探針P1在探針偏壓為5V 時測得的電子電流波形圖。其中深紅色線代表電子電流，紫色線代表真空沿面放電時的光照強度。不斷改變探針電壓，記錄每一個探針電壓下產生的電子電流波形的峰值，繪制V- I 特性曲線，并求得等離子體的參數如下表1 所示。

圖9 探針法實測的電子電流波形

　　由表1 可以看出：首先，電極錐角越小，擊穿電壓越小，也就是說，錐角越小的電極越容易發生沿面放電。其次，錐角為60°的電極放電時得到主放電電流最大，測得的等離子體密度也最大;錐角為120°電極時主放電電流最小，測得的等離子體密度也最小。

　　表1 三種不同錐角電極的等離子生成特性參數

全文閱讀：

　　電極錐角對真空沿面放電等離子體生成特性的影響