真空閥門的定義和作用

2020-04-26 真空技術網整理 閥門手冊

  真空閥門是在真空系統中用來隔離(切斷)氣流、調節氣流流量、分配氣流的真空元件。種類繁多的真空裝置(亦稱真空工程設備)都離不開真空系統。真空閥門不論在簡單或復雜的真空系統中都占有重要的地位。

  通常在真空系統設計時,要根據真空裝置的要求和真空系統的特點來選擇不同類型的真空閥門。例如,真空放氣閥,是用來給真空系統放入大氣用的。真空裝置完成真空作業后,若要更換工件或取出樣品,必須將大氣放入真空室,使真空室大門兩側沒有壓差,才能打開大門進行工件更換。而針閥是向真空系統中充氣,并能調節氣體流量的真空閥門。

  真空閥門常用于真空泵抽速測量、真空鍍膜、離子束刻蝕、受控熱核反應裝置等真空系統上,提供精確調節的氣體流量,用以獲得穩定的工藝要求的真空度;高真空擋板閥、高真空插板閥,常用于主抽氣泵的進氣口上,用來隔離真空泵,使之不暴露于大氣之中。高真空蝶閥可裝于真空室,真空管道與真空泵之間,用以接通和隔離(截止)氣流。閥門設計不應當漏氣、發生機械、電氣故障等。

  需要糾正一下國內電站閥門存在的錯誤叫法,在電站閥門中,通常將填料部分帶水封裝置的閥門前面冠以“真空”,如真空閘閥真空截止閥等。而事實上,這些閥門的介質壓力都很高,有的閥門壓力高達10MPa,這是一種錯誤的叫法,應當予以糾正。