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利用靜態膨脹法真空裝置和質譜計校準標準漏孔
本文介紹了利用靜態膨脹法真空裝置和殘余氣體四極質譜計校準標準漏孔的方法,通過實驗驗證了該方法的可行性,并給出了該裝置測量范圍(10-5~10-7)Pa.m3/s,裝置的最佳校準能力小于3.0%(k=2)。
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