真空計量的最新進展

　　李得天

　　(中國航天科技集團公司五院510 所)

　　摘要：介紹了在真空計量研究領域取得的最新進展。提出了非蒸散型吸氣劑技術消除器壁放氣影響來延伸靜態膨脹法真空標準校準下限的方法，為靜態膨脹法的研究提供了另一條思路。

　　以惰性氣體作為校準氣體時，非蒸散型吸氣劑既維持了校準室中的高真空本底，又不改變校準室內惰性氣體的氣體量，從而保證氣體靜態膨脹時玻-馬定律嚴格成立，使標準壓力能夠準確計算，將校準下限延伸到了10^-7 Pa量級的超高真空范圍。

　　提出了分流法校準超高/極高真空規的新方法。分流法是將氣體微流量計提供的氣體流量引入到一個分流室，再通過分流室上的兩個分子流導相差較大的小孔分流，只有極小部分的氣體流量被分流到極高真空校準室中，從而產生了10^-10 Pa的動態平衡壓力。提出了固定流導法測量極小氣體流量的新方法，并成功應用于極小漏率真空漏孔的精確校準之中，從而避免了四極質譜計的非線性影響。