一、 概述

　 　DL-10型真空計(jì)是石英晶振真空計(jì)。它的量程較寬，精度較高。該真空計(jì)由規(guī)管與控制單元組成，控制單元的數(shù)碼管顯示壓強(qiáng)值。

二、 技術(shù)要求

1、 測(cè)量范圍：10—10⁵Pa

2、 電源：交流 220V,50Hz

3、 功率：7W

4、 機(jī)箱尺寸：200×90 ×160mm（寬×高×深）

三、 原理

　　DL-10型真空計(jì)是應(yīng)用石英晶振的諧振阻抗與 氣體壓強(qiáng)有關(guān)的特性做的真空計(jì)。石英晶振裝在鋁殼中做成規(guī)管，管 徑為15.5mm，可通過(guò)接口插入系統(tǒng)。諧振阻抗的測(cè)量電路如圖1所示 ：

VAB為晶振兩端電壓

I 為流過(guò)晶振的電流

電流I流過(guò)與 晶振串聯(lián)的電阻R，在電阻兩端的電壓為V_BD

　　V_AB 近似等于AC兩端電壓 V₀,V_BD近似等于DC兩端電壓V1，由測(cè)量的 V₀，V₁值及電阻值，可以計(jì)算出阻抗。單片 機(jī)將阻抗轉(zhuǎn)換成壓強(qiáng)，由數(shù)碼管顯示壓強(qiáng)值。

四、DL-10真空計(jì)的安裝

　　DL-10真空計(jì)的安裝如圖2所示：

　　石英晶振及振蕩電路放在探頭內(nèi)，引線電纜通過(guò) 5芯插頭插入控制單元后面板的插座內(nèi)，探頭Φ15.5直徑的管道插入 真空系統(tǒng)。電源電纜一頭插入控制單元后面板插座，另一端插入電源 插座。電源插座應(yīng)含接地線，使控制單元機(jī)箱接地。打開電源開關(guān)， 控制單元數(shù)碼管顯示壓強(qiáng)值。數(shù)碼管顯示3.2 E 2  表示壓強(qiáng)值 為3.2×102Pa 。

五、校準(zhǔn)

　　當(dāng)環(huán)境溫度變化時(shí)，應(yīng)對(duì)DL-10進(jìn)行校準(zhǔn)，校準(zhǔn)方法如下：

　　1、大氣校準(zhǔn)：在規(guī)管壓強(qiáng)為大氣時(shí)，用改錐按 壓控制單元前面板大氣孔內(nèi)的按鍵，松開后即可。

　　2、零點(diǎn)調(diào)節(jié)：在規(guī)管壓強(qiáng)小于1×10^{- 2}Pa時(shí)，用改錐按壓控制單元前面板零點(diǎn)孔內(nèi)的按鍵，松開后 即可。

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