微壓式數(shù)字活塞壓力計測量不確定度的評定

2013-04-02 魏萬印 中國航天科技集團(tuán)公司五院

微壓式數(shù)字活塞壓力計測量不確定度的評定

魏萬印，李得天，馮焱，成永軍

(中國航天科技集團(tuán)公司五院510 所)

　　摘要：粗低真空校準(zhǔn)技術(shù)廣泛應(yīng)用于航空航天等高科技領(lǐng)域。中國航天科技集團(tuán)公司五院510 所建立的粗低真空校準(zhǔn)裝置的核心是數(shù)字活塞壓力計，在30Pa-11kPa 校準(zhǔn)范圍內(nèi)采用了Furness 公司的FRS5 微壓式數(shù)字活塞壓力計作為主標(biāo)準(zhǔn)器。

　　本文分析了FRS5 微壓式數(shù)字活塞壓力計在絕壓模式下的測量不確定來源，并對各項不確定度分量進(jìn)行了評定，最后給出了測量不確定度。