真空規(guī)吸放氣特性測試研究

盛學(xué)民 馮 焱 董 猛 成永軍 趙 瀾 張瑞芳

(蘭州空間技術(shù)物理研究所國防科技工業(yè)真空一級計量站 蘭州 730000)

　　摘要：利用真空材料放氣率測試裝置對各類真空規(guī)的吸放氣特性進(jìn)行了實驗測試研究，主要內(nèi)容包括：真空規(guī)吸放氣特性測試的實驗原理及方法、實驗過程和結(jié)果分析等。

　　在真空材料放氣率測試裝置上運(yùn)用定容法、小孔流導(dǎo)法和雙通道氣路轉(zhuǎn)換法對冷規(guī)、分離規(guī)、電容薄膜規(guī)和磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)等真空測量元件的吸放氣特性進(jìn)行實驗研究。

　　測試時系統(tǒng)經(jīng)過高溫烘烤，以減小系統(tǒng)本底放氣對真空規(guī)吸放氣測試帶來的影響;通過組合使用連接在測試系統(tǒng)上的真空規(guī)，測量系統(tǒng)的壓力變化，來研究真空規(guī)的吸放氣特性;利用真空規(guī)傳感器和管道閥門的開關(guān)等不同狀態(tài)下放氣量的差異性來測量研究各真空規(guī)的吸放氣量。

　　研究結(jié)果可對真空計量標(biāo)準(zhǔn)的使用和性能研究提供借鑒和參考。