為解決小型真空探測器體積小、內(nèi)部空間有限、常規(guī)真空監(jiān)測裝置無法安裝在探測器上進行直接測量的問題，設(shè)計一種外置動靜態(tài)真空測試系統(tǒng)，并建立外置測試系統(tǒng)測量數(shù)據(jù)與小型真空探測器腔體內(nèi)真空度的可靠關(guān)系。測試實例驗證表明：本工作建立的外置動靜態(tài)真空測試系統(tǒng)，按設(shè)計方式推算的探測器動靜態(tài)真空度值與實際測量值的差異不到10%，可以較好地實現(xiàn)小型真空探測器的動態(tài)真空測試和靜態(tài)真空監(jiān)測。

　　部分小型真空探測器使用時真空腔體為靜態(tài)真空，靜態(tài)真空的真空度是探測器使用中必須確切知道的一項重要真空參數(shù)指標(biāo)。為獲得較好的靜態(tài)真空，必須對真空腔體除氣，以使真空腔體達到或接近相應(yīng)條件下的動態(tài)極限高真空。對于測試真空容器在真空獲取過程中的動態(tài)真空度，以及靜態(tài)真空保持中的靜態(tài)真空度，一般是在容器腔體上安裝(或在容器內(nèi)懸掛)普通的真空規(guī)測試真空，這種安裝設(shè)計方式用于大體積(容積大于10L)的真空容器的真空檢測(監(jiān)測)時，由于測試裝置本身所占用的體積(約80mL)相對較小，測試裝置對容器結(jié)構(gòu)影響不大，測試結(jié)果能較準(zhǔn)確地反映容器的動靜態(tài)真空；但對于小型真空容器(容積低于1L的真空容器)，由于真空規(guī)所占位置相對較大，這種方式就明顯不實用，且測試中由于真空規(guī)的發(fā)熱等因素導(dǎo)致測試誤差增大(大容器中真空規(guī)發(fā)熱對真空測試結(jié)果的影響相對較小，幾乎可忽略不計)；而現(xiàn)有的微型真空檢測器件雖然體積小，可用于部分小型真空容器的真空檢測，但其真空測量范圍僅限于測試低真空，很難滿足探測器動態(tài)極限真空獲取過程中的高真空測試需要。

　　對國內(nèi)外真空測試和監(jiān)測研究相關(guān)文獻進行查詢，亦難以找到有關(guān)于小型真空腔體的動態(tài)高真空測試和靜態(tài)真空監(jiān)測綜合實現(xiàn)的相關(guān)內(nèi)容。本工作針對小型真空探測器本身體積小、內(nèi)部空間有限、且需對真空腔體的動態(tài)高真空和靜態(tài)真空變化進行測試/監(jiān)測的工程需求，設(shè)計外置動靜態(tài)真空檢測(監(jiān)測)系統(tǒng)，在探測器的除氣端口安裝閥門，通過閥門控制，使探測器真空腔體的真空度與外置真空檢測系統(tǒng)的真空度構(gòu)成合乎規(guī)律的聯(lián)系，依據(jù)氣體流動管路的流導(dǎo)與管路兩端的壓強變化規(guī)律，對小型真空探測器除氣過程中的真空測試，建立探測器某一時刻的真空度與真空測試裝置位置的真空度關(guān)系，以實現(xiàn)小型真空探測器的極限真空獲取過程的動態(tài)真空檢測；依據(jù)玻義耳-馬略特定律，對小型真空探測器靜態(tài)真空一段時間后的真空測試，建立探測器腔體內(nèi)的真空度與由探測器和外置真空測試裝置構(gòu)成的復(fù)合腔體的真空度關(guān)系，以實現(xiàn)探測器靜態(tài)真空長時間保持后的靜態(tài)真空監(jiān)測。為小型真空探測器應(yīng)用者評估該類探測器動、靜態(tài)真空狀態(tài)提供可靠真空測試數(shù)據(jù)依據(jù)。

　　1、實現(xiàn)小型真空探測器動靜態(tài)真空監(jiān)測的設(shè)計

　　1.1、真空獲取系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計

　　小型真空探測器本身真空腔體體積小，真空腔體上只能安裝一只連接抽氣管路及封閉真空腔體的真空閥，無法安裝真空檢測裝置檢測(監(jiān)測)動(靜)態(tài)真空，為此設(shè)計真空規(guī)三通管，使真空檢測裝置(真空規(guī))能夠安裝在真空獲取通路上，具體結(jié)構(gòu)為：三通管的兩側(cè)安裝真空閥，一側(cè)真空閥F1(內(nèi)閥)連接小型真空探測器，另一側(cè)真空閥F2(外閥)通過真空抽氣管路連接分子泵真空機組，三通管中間端口安裝真空規(guī)，真空規(guī)連接真空計，由內(nèi)閥、三通管、真空規(guī)，真空計、外閥一起在小型真空探測器本身真空腔體外構(gòu)成外置形式的真空測試系統(tǒng)。真空獲取設(shè)計示意圖如圖1所示。

圖1 小型真空探測器動靜態(tài)真空獲取及檢測(監(jiān)測)系統(tǒng)

　　真空檢測(監(jiān)測)的具體方式為：由真空規(guī)測試三通管位置的真空度，依據(jù)三通管的真空度與探測器的真空度關(guān)系，計算確定探測器真空腔體的動靜態(tài)真空度。

　　3、結(jié)束語

　　通過本工作對小型真空探測器動靜態(tài)真空監(jiān)測系統(tǒng)的設(shè)計和應(yīng)用驗證研究，可以得出：

　　(1)參照本文設(shè)計出的外置動靜態(tài)真空測試系統(tǒng)，可以有效解決小型真空探測器體積小，內(nèi)部空間有限，常規(guī)真空監(jiān)測裝置很難安裝在探測器上進行直接測量的問題；

　　(2)依據(jù)建立的外置測試系統(tǒng)測量數(shù)據(jù)與小型真空探測器腔體內(nèi)真空度的關(guān)系，可以可靠得到小體積探測器動靜態(tài)真空度值(與實際測量值差異不到10%)；

　　(3)本工作的小體積真空檢測系統(tǒng)設(shè)計思路，對于體積約為0.1～1l的其它小真空腔體的真空監(jiān)測系統(tǒng)設(shè)計和建立有直接參考價值。